2014材料电子能谱学课件.ppt

* Surface Analysis Lab. of SCUT 影响定量分析的因素 X射线的入射、折射和吸收等； 光电子的产生与发射； 检测仪器 * Surface Analysis Lab. of SCUT 为了提高定量测试的精度，要求： ①样品为无定形或多晶均匀物相，表面无污染，原子级平整； ②选取X射线入射角≧5°-10°（以样品表面的平面放线为基准），即远大于X射线则是和发射的临界角，可忽略X射线的折射和反射； ③光电子动能和起飞角（光电子接收方向与样品表平面之间夹角）要大； ④在固体样品中，X射线和光电子沿宏观直线路径是指数形式衰减，衰减性质各向同性以及不随深度d、X射线入射方向和光电子发射方向变化； ⑤由于X射线衰减长度远比光电子衰减长度大，因此在光电子取样深度内，X射线衰减可以忽略不计。 * Surface Analysis Lab. of SCUT 本底（ background） 在强度测量中必须扣除峰下的本底； 非弹性本底（background, inelastic):由于单次和多次非弹性散射过程，原来处于一种能量的粒子现以较低能量被发射时在能谱中的强度分布。 * Surface Analysis Lab. of SCUT 本底形成的原因 ①特征X射线所激发的光电子从固体样品内输运过程中，经历多重非弹性散射。在主峰低动能侧形成的本底、常常在距主峰10-30eV