四十八所扩散作业指导书现场版本介绍.docVIP

编制/日期： 审核/日期： 批准/日期： 一、 目的 规范四十八所扩散炉常规维护项目的操作 二、 适用范围 适用于佳诚太阳能有限公司电池车间扩散一到四线工序 三、 规范性引用文件 四十八所扩散炉操作说明书 四、 职责 设备人员：1、检查温控仪表及热电偶是否正常 2、检查触摸屏是否偏移，矫正 3、检查电气线路按钮开关及指示灯是否正常 4、检查插片房风机是否正常 5、检查变压器及炉体接线端子是否老化、发黑等现象 6、保养完后，确认每台炉管加热、流量正常 工艺人员：1、负责协助生产拆装废液瓶夹子 2、检查有毒气体管道密封性和老化程度，是否需要更换 生产员工：1、检查传动是否平滑，有无震动和异响，加润滑油 2、清理净化滤网，必要时更换 3、清理废气室及废气管滴下的偏磷酸 4、检查恒温水槽不锈钢源瓶座是否有积水，清理 5、检查恒温水槽液位是否过低；控温等是否正常 6、检查气路是否有漏气现象，更换卡套和四通阀 7、检查废液瓶内废液，是否需要清理 五、 设备主要技术参数: 项目 规格 电源： 3相5线，380V，50HZ，单台总功率105KVA 供气 N2、O2 、压缩空气，进气压力0.4～0.6Mpa，工艺气体纯度99.99﹪。 使用环境 1 环境温度5～40℃。 2 相对湿度＜75％。 3 海拔不超过2500m。 4 电网电压波动不超过额定值±10%。 5 环境洁净度不劣于：1000级。 6 有良好的抽风排毒系统，每管抽风量:热排250m3/h，酸排：800m3/h。 7 无高频及较强的磁场干扰。 工作模式 自动工作模式。自动模式工作能实现自动进舟，取舟，工艺运行中气体流量，温度自动控制。 温度控制 恒温区温度精度：≤± ±1℃/1080mm（801～1100℃） 六、设备介绍与操作 1.1总体结构 总体结构分为四大部分，见平面安装图1，从右到左为：控制部分、推舟净化部分、电阻加热炉部分、气源部分。 图1 软着陆扩散炉平面安装图 1.2分部件结构 1.2.1工控机控制框图见图2。 图2 在控制柜的底层，安装有四管控制系统的推舟控制装置、保护电路、电路转接控制板及各层的开关、保险等, 前盖板上装有三相电源指示灯及照明、净化、抽风开关等。 该柜内有220V的交流电，也有15V、5V直流电和控制信号线，检修时请注意区分及安全，谨防接错和短路。 1.2.2推舟净化部分 推舟净化柜的顶部装有照明灯；正面是悬臂桨推拉舟机构，推舟水平运动采用步进电机+减速机+同步带+同步带轮的传动机构，推动悬臂桨水平移动；推舟垂直运动采用步进电机+减速机+升降机的驱动机构，推动推舟底板整体上下移动。导轨的两端和上下运动的两端都装有限位开关和极限保护开关。靠近炉口的净化柜顶部设有漏斗状的抽气罩，与外接抽风系统连接后，用来排掉出舟时散发的大量高温有毒气体。 在柜子的下部装有控制电路转接板及净化用风机。 推舟净化柜内有380V交流电，请注意安全！ 1.2.3电阻加热炉部分 电阻加热炉柜共有六层。顶层配置有水冷散热器及排热风扇，废气室顶部设有抽风口，与外接负压抽风管道连接后，可将工艺过程残余的废气带走。 中间部分分四层放置四个炉管，每层由四个坡面支架托起并固定住炉管，其位置在安装时已经与推舟送片机构调正，因此切不可轻易挪动。炉管上从左至右分别有六个接线端子，请务必根据接线端子及线头上的标号对应连接，连接时，请使线与炉管外壁保持一定的距离，以防电缆因过热而短路。在炉管外壁的中部，可以看到有五个热电偶接线座，中间三个的座内各接有两支热电偶，热偶Ⅰ用来控温，热偶Ⅱ为超温保护热电偶。控温热电偶从左至右分别用红(+)、绿(-)两根补偿导线对应连接控制柜上对应层的左附控、控Ⅰ、控Ⅱ、控Ⅲ、右附控温控仪，保护热电偶则连接到控制柜对应层的保Ⅰ、保Ⅱ、保Ⅲ温度保护仪。 热电偶插在座子里，由两个螺钉固定，请不要随意调动它们，因为热电偶的位置对温度控制精度及炉温的稳定性至关重要。 每管炉体的右侧设置有废气室，以排放工艺过程中产生的有毒有害气体。 炉柜的底层安装有四管加热炉的功率部件（可控硅、散热器、接触器、变压器、可控硅过零触发器等）。底部背面的门板上装有散热风机，用以对可控硅进行散热。 1.2.4气