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第卷第期固体润滑年月综述与进展表面三维形貌非接触测量的现状高宏薛实福严普强清华大学精密仪器系北京摘要文章首先指出表面形貌对机械电子和光学系统的使用性能影响很大尤其现代品生确可地测量面形貌日益成为制和改进加工面在产产中精靠表控表质量的必要条件作者在时表面形貌的接触式测量方法进行了简要的评介之后着重就非接触式表面形貌测量方法中主要应用的相移干涉显微镜和扫描随道显微镜的测量原理和仪器结构作了介绍关键词表面三维形貌非接触刚量相移干涉显微镜扫描随道显微镜九艺外艺一七一沮一一收到初稿一一收到修改稿认一一入入
第 卷第 期 固 体 润 滑 , ,
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