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矽-矽-基底之電晶體於高頻特性的可靠度分析基底之電晶體於高頻特性的可靠度分析 矽矽--基底之電晶體於高頻特性的可靠度分析基底之電晶體於高頻特性的可靠度分析 研究生 ：黃聖懿 指導教授 ：張俊彥 院士 陳坤明 博士 國立交通大學 電子工程學 電子研究所博士班 中文摘要 近年來 ，隨著無線通訊技術的快速發展以及電路成本上的降低 ，矽 -基底之電晶體在實行系統整合於單一晶片的 角色及運用也越來越趨成 熟。在開發先進元件的同時 ，可靠度的測試和分析也將會是一個重要的 議題 。而傳統上直流所做的參數的可靠度測試 ，是否就能符合高頻電路 操作下的相對安全規格 ？亦或是高頻電路操作下，主動元件所需考量的 可靠度因素會比傳統上所做的直流測試更加嚴苛 ？這些考量的因素在 於直流測試以及高頻測試之間的關聯性又是如何 ？ 本論文的研究方向和主題即是針對於這個有趣的議題在矽基底電 晶體的高頻操作運用上 ，做一個有系統並且完整的分析 。論文中，針對 矽基底電晶體的部分則是包含兩大主題 ：矽鍺異質接面雙極性電晶體 I (SiGe HBTs)、以及金氧半場效電晶體 (MOSFETs)。 傳統上 ，針對矽鍺異質接面雙極性電晶體的可靠度測試主要的方法 可再 細分為兩種 ：反向偏壓的射極-基極接面 (Reverse-biased Emitter-Base junctions, and left collector open)，與順向偏壓集 極電流(Forward-biased Collector current)，而相同的目的即是利用 相對較高的電壓或是電流的驅迫(Stressing)，來產生較大的電場以及 帶有較高能量的熱載子 。近年來，由於矽鍺異質接面雙極性電晶體主要 運用於高頻電路中的功率電路(Power Amplifier)，而在接近實際操作 情況下 ，同時產生較高的輸出電流以及較高的輸出電壓 ，而這樣的偏壓 條件下 ，也對於元件的可靠度是一個新的挑戰。而所謂 的混合驅迫 (Mixed-Mode Stressing)就是利用矽鍺異質接面雙極性電晶體在操作的 同時給於較高的電流密度以及高電壓下所造成的一種熱載子驅迫 。這個 接近實際操作下的熱載子分析 ，也是本論中高頻可靠度分析的一項重要 主軸 ，尤其是在高頻功率上所造成的影響 。 傳統的反向偏壓射極-基極接面驅迫所造成的熱載子會在靠近基極 和射極接面以及隔離基極-射極的絕緣層上產生接面陷阱(traps)和帶 電荷的接面能態(interface state)，而影響其直流特性上的電性反應 。 譬如在基極電流上產生非理想的複合漏電流 ，而造成電流増益 的下降 。 這也會影響 高頻操作時 些可預期的電性上的劣化反應 。在此實驗 中 ， II 由於熱載子對於基極電流和集極電流所造成的影響並不一致 ，所以我們 也針對於不 同方式的電流驅動下(固定 I 和 固定 I )，完整地分析熱載 C B 子對於矽鍺異質接面雙極性電晶體實際操作上 ，在其高頻特性以及功率 特性的影響 。並以小訊號等效電路將其參數萃出作為分析比較以及尋找 出高頻參數的劣化與直流特性參數劣化之間的相關性 。而在混合驅迫 下，熱載子對於矽鍺異質接面雙極性電晶體所造成的傷害 ，除了直流上 的變異 ，高頻操作下我們則是利用大訊號(VBIC)模型 ，將其相關的參數 萃出 ，並對於高頻特性 、功率特性做一個完整的分析和功率放大器的模 擬 。並且在這實驗 的過程中 ，我們發現在固定集極電流驅動下的矽鍺異 質接面雙極性電晶體 ，受到熱載子傷害後 ，其高頻特性以及功率特性相 對地較不受到影響 。 另一方面 ，本論文也針對金氧半