电化学自组装法制备透明ZnO薄膜及性能研究-信阳师范学院学报.PDF

信阳师范学院学报：自然科学版 Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｘｉｎｙａｎｇ Ｎｏｒｍａｌ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ 第２７卷　 第１期　 ２０１４年１月 Ｎａｔｕｒａｌ Ｓｃｉｅｎｃｅ Ｅｄｉｔｉｏｎ Ｖｏｌ．２７ Ｎｏ．１Ｊａｎ．２０１４ ＤＯＩ：１０．３９６９／ ｊ．ｉｓｓｎ．１００３⁃０９７２．２０１４．０１．０１８ 电化学自组装法制备透明ＺｎＯ薄膜及性能研究 １∗ １ ２ ２ 蔡　 超 ，李建梅 ，陈秋萍 ，薛敏钊 （１．宁夏大学 化学化工学院，宁夏 银川７５０００１； ２．上海交通大学 化工学院，上海２００２４０） 摘　 要：以低浓度的Ｚｎ（ＮＯ ） 为电解液、ＫＣｌ 为支持电解质，采用电沉积自组装法在氧化铟锡（ＩＴＯ）玻璃 ３ ２ 基片上成功制备了尺寸可控、性能优异、具有强的Ｃ轴择优取向生长的纳米柱ＺｎＯ薄膜；并进一步获得了六方 晶体纳米结构的ＺｎＯ薄膜的优化沉积工艺． 同时，结合Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）、扫描电镜测试（ＳＥＭ）、透射电镜 （ＴＥＭ）、紫外吸收光谱（ＵＶ⁃ｖｉｓ）等测试手段对薄膜的形貌、晶形及光学性能进行了系统表征．结果表明，制备的 ＺｎＯ薄膜为六方纤锌矿结构，且沿［００２］方向的择优生长趋势明显、物相纯正；该薄膜的透射率最大值可达 ７５％，禁带宽度接近于３．２８ ｅＶ． 关键词：ＺｎＯ薄膜；电沉积；光电性能 中图分类号：ＴＮ３０４．２　 　 文献标志码：Ａ　 　 文章编号：１００３⁃０９７２（２０１４）０１⁃００６８⁃０４ Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ ｏｆ Ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ Ｆｉｌｍ ｗｉｔｈ Ｅｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ １∗ １ ２ ２ Ｃａｉ Ｃｈａｏ ，Ｌｉ Ｊｉａｎｍｅｉ ，Ｃｈｅｎ Ｑｉｕｐｉｎｇ ，Ｘｕｅ Ｍｉｎｚｈａｏ （１．Ｓｃｈｏｏｌ ｏｆ Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ ａｎｄ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｎｉｎｇｘｉａ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｙｉｎｃｈｕａｎｇ７５０００１，Ｃｈｉｎａ； ２．Ｓｃｈｏｏｌ ｏｆ Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ ａｎｄ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＳｈａｎｇｈａｉＪｉａｏＴｏｎｇ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｓｈａｎｇｈａｉ２００２４０，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｚｉｎｃ ｏｘｉｄｅ（ＺｎＯ）ｆｉｌｍｓｗｅｒｅ ｅｌｅｃｔｒｏｄｅｐｏｓｉｔｅｄｆｒｏｍｌｏｗ ｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎ ｏｆ Ｚｎ（ＮＯ ） ａｓｅｌｅｃｔｒｏｌｙｔｅｏｎｔｈｅ ３ ２ ＩＴＯ ｓｕｂｓｔｒａｔｅｓ． Ｔｈｅ ｅｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌ ｍｅｔｈｏｄ ｈａｓ ｔｈｅ ａｂｉｌｉｔｙ ｔｏ “ｔａｉｌｏｒ” ｄｅｐｏｓｉｔｅｄ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ，ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ａｎｄ ｔｏ ｆｏｒｍ ａ ｈｉｇｈ⁃ａｓｐｅｃｔ⁃ｒａｔｉｏＺｎＯｆｉｌｍ． ＡｎｄｏｐｔｉｍｉｚｅｄｃｏｎｄｉｔｉｏｎｈｅｘａｇｏｎａｌｃｒｙｓｔａｌｏｆＺｎＯｆｉｌｍｈａｓｂｅｅｎｄｅｔｅｒｍｉｎｅｄｕｌｔｉｍａｔｅｌｙ． Ｔｈｅ ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙ，ｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ａｎｄ ｏｐｔｉｃａｌ ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ