计算机辅助集成电路的老化-光学精密工程.pdfVIP

第6卷　第6期 光学　精密工程 . 6, . 6 V o l N o 1998年12月 O P T IC S AN D PR EC IS ION EN G IN EER IN G D ecem b er, 1998 计算机辅助集成电路的老化 刘英歌 ( 中国科学院长春光学精密机械研究所　　长春 130022) 　　摘要　概要叙述集成电路老化的意义, 以及采用计算机辅助的方法进行元器件的 老化实例。 关键词　　老化　 　 　软件 A D D A 1　集成电路老化的重要意义 　　 在六十年代, 电子设备和大型仪器, 主要是应用离散元件, 那时的集成电路简直是风毛鳞 角! 对它的质量要求, 还提不到日程上来。随着世界电子技术的迅猛发展, 半导体微电子器件得 ( ) 到广泛的应用。各种类型的集成电路 小、中、大、超大规模 越来越广泛地应用于工业 自动化控 制、航空航天设备、军用武器、计算机等军用和民用的电子仪器中。因此, 提高集成电路的可靠 性也就是提高这些仪器设备的可靠性。而集成电路老化筛选是提高质量的主要手段。具体说 来, 可分为以下两个方面。 集成电路的老化, 是提高质量的需要。在制造集成电路时, 尤其是大规模和超大规模集成 电路, 由于工艺、材料等原因, 可能造成离子沾污、电迁移、掩膜缺 口、氧化物和硅体缺陷等, 给 ( ) 集成电路器件留下缺陷。这种缺陷又分为两种, 一种为明的, 一种为暗的 潜在的 。明的缺陷, 可通过仪器测试, 把带有这种缺陷的器件剔除掉; 有潜在缺陷的器件, 用普通仪器是测量不出 来的, 它们随着所在的设备使用几百小时后, 方能暴露出来。这必然给设备的运用造成相当的 损失, 尤其是航空航天设备、军用武器等, 是不允许出现这类问题的。於是, 尽可能把带有潜在 缺陷的集成电路, 早一点地剔除掉, 就显得十分重要了。剔除早期失效的集成电路的有效方法 ( ) 就是“老化”。经过一定程序的老化, 可以极大地剔除早期失效 具有潜在缺陷 的集成电路, 提 高仪器设备的质量。 集成电路的老化, 是提高经济效益的需要。“老化”的方法多种多样, 实践证明, 高温动态 老化是比较好的方法。图1就是众所周知的电子元器件寿命浴盆曲线。 收稿 日期: 1998- 10- 15 6期　　　　　　　　　　　　刘英歌　: 计算机辅助集成电路的老化　　　　　　　　　　　　 127 . 1　 “ ” F ig life b ath tub ch aracter ist ic o f e lect ron ic dev ice 　　 由曲线可见, 电子元器 件潜在缺陷引起的早期失效 一般产生加电运行1000h 之 内, 之后器件的失效率将保 持一个非常低的常数。如: 在 加电条件下, 使之激活能达 到 0. 5eV , 在 50 ℃下 需 要 1000h 使器件产生早期失 效; 而在 125 ℃时, 仅 需30h 就可以使带有缺陷的器件产 生早期失效, 温度与失效时 间的关系如图2所示: . 2　 F ig R e lat ion s o f fa ilu re t