表面波surfaceacousticwave波速量测.pdfVIP

第五章 表面波(Surface Acoustic Wave)波速量測 物體的表面聲波有許多種類，相較於一般的體波(Bulk Wave) ，表面波傳遞 時的衰減較小、可傳遞較遠的距離，同時在量測表面波時，不需量測物體厚度 方向的尺寸，即可得到波速。而且它是沿著物體表面前進，其能量僅分布於物 體的表層，而不會深入物體內部，因此可以獲得許多關於物體材料表面性質的 資訊，這些優點，使得表面波成為目前超音波檢測中廣泛運用的聲波，有許多 相關文獻對此方面有深入探討[20,21] 。 要產生表面聲波有許多種方法，包括利用傳統聲波換能器搭配楔型導波塊 [22] 、超聲波顯微鏡探頭[20,21] 、或是浸水式聚焦聲波探頭[23-26] 、雷射超音波 等[32] 。由上一章的測試結果，顯示表面聲波感測器能產生並接收表面聲波， 因此，本章(第五章)及第六章、第七章將以表面波波速量測、裂縫量測、等向 性材料內部應力量測的實驗，配合表面聲波感測器的特性，建構新式的非破壞 量測系統，以增加表面聲波感測器的應用。 5-1 等向性材料表面波波速計算 等向性材料的表面波稱為瑞利波(Rayleigh Wave) ，由英國Lord Rayleigh 於 1887年完成理論推導及數學方程式，目前許多關於聲波的書籍都有說明其演算 法，本文參考 J. D. Achenbach 的理論推導及Rayleigh 方程式 [27] ： 35 2 1 / 2 1 / 2 C 2 C 2 C 2 2 R 4 1 R 1 R 0 (5-1) 2 2 2 CT CL CT 其中CL 及CT 分別為等向性材料的縱波波速(Longitudinal Wave Velocity)及橫波 波速(Transverse Wave Velocity) ，CR 即為材料的瑞利波波速。給定材料的縱波 波速及橫波波速，利用(5-1)式，即可求出瑞利波波速的解析解。 5-2 等向性材料表面波波速量測 使用點發射/點接收的表面聲波感測器時，首先需要探討其頻率響應特性， 以求得最佳的工作頻率，本文將利用自製的表面聲波感測器，其頂端直徑為 400 μm ，用實驗的方式，找出其最佳的工作頻率，以決定輸入激振波的頻率(f) ， 並進行材料的表面波波速量測。 5-2-1 材料對感測組的共振頻率量測 參考圖 5-1 ，仿照第四章的測試架構，選擇中碳鋼、鋁、黃銅、碳化鎢四種材 料為測試材料，以了解表面聲波感測器對這四組材料的最佳工作頻率，進而利 用感測器在此工作頻率下，作進一步的表面波波速量測。此四組材料的尺寸規 格描述於表 5-1 ，其中，材料的縱波波速及橫波波速係由接觸式壓力波(P-wave) 及剪力波(S-wave)超音波探頭(Panametrics Co., A111 R 及 V155)量測而得，並經 36 由剪力波探頭確定此四種材料為等向性材料。 表 5- 1. 測試材料尺寸規格 中碳鋼鋁(6061) 黃銅 碳化鎢 厚度(mm) 37.91 39.75 29.52 7.85 縱波波速(m/s) 5923 6463 4341 6947 橫波波速(m/s) 3240 3142 2179 4198 Rayleigh Wave 波速(理論值)(m/s) 2998 2936 2031 3833 調整信號產生器產生的高頻正弦波，使其產生0.5MHz~1