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灰重式密度分群演算法晶表面瑕疵用蔡明忠敏霖林宇立台科技大自控所立台科技大自控所立台科技大自控所摘要本文提出一以料灰重之密度分群演算法本演算法以四象限料灰值重引之概念且成方向由料的料上之灰值融入核心得到未分料重快速移且可能排除已分到快速料分群另提出演算法配合差倍率法分割背景用於表面瑕疵主要目研磨液的留率光微中取得原影像算出平均值差依果使用五倍差定值可得到最佳的留瑕疵最後再使用本文提出之影像料行分群作由果每之留瑕疵影像能有效大小及位置且符合所定的品加入色框字能更了解瑕疵字以密度基分群演算法晶灰重密度
灰階權重式密度分群演算法與LAO 晶圓表面瑕疵檢測應用
蔡明忠 黃敏霖 林則宇
國立台灣科技大學 自控所 國立台灣科技大學 自控所 國立台灣科技大學 自控所
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