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高频感应加热法制备SrTiO3BLC半导瓷-东南大学学报
第27 卷第6期 东 南 大 学 学 报 Vol. 27 No. 6
1997 年11月 JOURNAL OF SOUTHEAST UNIVERSIT Y Nov. 1997
SrT iO BLC
3
陈章其 汪云华 吴冲若
( 东南大学电子工程系, 南京21 18)
采用真空高 感应加热法制备SrTiO 晶界层电容器半导瓷, 研究了掺杂材
3
料、掺杂量、烧结温度、保温时间、成型密度等对半导瓷性能结构的影响.所制备的半导
4
瓷经二次烧结成的 SrT iO BLC, 其视在介电常数K 3 ×1 , 损耗角正切tan≈
3 eff
1 - 2, 绝缘电阻率 1 1 ·cm.
SrT iO ; 半导体陶瓷; 高 感应; 晶界层电容器
3
6 4
TN
SrT iO3 ( boundary layer capacitor, BLC) ,
3
. , , SrT iO
2 2
( N / H ) .
SrT iO3 ,
, .
1
( 1) 1 , ,
, . , ,
. : , ;
, , ; ,
H2/ N2, .
( 2) 3 2 2 5 2 3 2
SrT iO T iO Nb O Al O SiO
, 24 , , 115 , 2 .
h h
7%( PVA) , 4 mm 1 mm
, , .
Pb O-Bi2O3 -B2O3 -CuO 11
3
, In-Ga , SrT iO BLC .
( 3) WGJ- 1 , ZL5 LCR
: 1997- 6- 11, : 1997- 8- 26.
第6 期 陈章其等: 高 感应加热法制备SrT iO3 BLC 半导瓷 119
BLC , BLC ZC36
, ( SEM) .
2
2. 1Al2O3 , SiO2
, ,
2 3 2 . 2 3 2 2 (
Al O SiO Al O SiO TiO AST
) , ,
, . AST , SiO2
[ 1]
SrO 1358 . 1
2 3 2
Al O SiO , T i/ Sr
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