飞秒激光作用下全向高反膜破坏的激发过程!-物理学报.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ’ $# ## $# ， ， ， Q8 .’ P . $# +=RSTU ## （ ） $###/(@#,##,’ $# ,’2(4/# LI-L MDN)OIL )OPOIL ## I:*B . M:;9 . )= . 飞秒激光作用下全向高反膜破坏的激发过程! ! 孙海轶 贾天卿 李晓溪 徐世珍 冯东海 李成斌 王晓峰 徐至展 （中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室，上海 #$%## ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ## ’ ## ( % 设计和制备了全向高反膜)*+ ,-*+ ，研究了它在不同脉冲宽度、不同脉冲能量的飞秒激光作用下的破坏阈值 和烧蚀深度 利用发展的抽运 探针方法，研究了抽运脉冲作用下材料中导带电子的超快激发和能量沉积过程，建 . / 立并求解了飞秒激光激发材料和材料的激发对抽运光自身反作用的耦合动力学模型. 模型较好地揭示了材料破坏 的激发过程. 关键词：飞秒激光，全向高反膜，激发过程，破坏机制 ： ， ， ， !## ’0 ’%#1 22# ’3 材料中激发了大量的导带电子，改变了材料的介电 $? 引 言 常数，从而使激光在材料表面的光强下降到不足原 来的五分之一 计算得到的探针光反射率的演化和 . 大量文献报道了超短脉冲激光作用下介质材料 破坏阈值与脉冲宽度的依赖关系与实验符合得 的破坏阈值，烧蚀深度与脉冲宽度、激光波长、脉冲 很好. 能量的依赖关系，并建立了理论模型研究材料破坏 ［— ］ 的物理机制$ % . 超短脉冲激光对介质材料的破坏 ? 实验装置与结果 可以描述为三个过程：导带电子的产生，导带电子的 加热，电子气中的能量传给晶格. 前两个激发过程是 本文的实验是在钛：蓝宝石激光器上完成的，其 决定材料破坏的主要因素，是研究后一个弛豫过程 输出的脉冲宽度为 #A9，波长 %##B6，脉冲能量 的基础. 然而，在最近的文献报道中，人们利用抽运/ 4## C ，重复频率 $###DE，千赫兹和单赫兹可以相互 ! 探针技术（抽运光和探针光的脉冲宽度相同），主要 调节 为了了解材料的烧蚀特性，我们首先利用 . 研究