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SOLARENERGY 低压磷扩散工艺研究 ■李吉h孙朋涛2郑建宇2严金梅1魏红军1麻增智1赵朋松1 (1．晶澳太阳能有限公司；2．北京七星华创电子股份有限公司) 摘 要：分析了低压磷扩散较常压扩散的优势，论述了低压磷扩散的工作原理及可以调节的王艺参数。 通过研究真空条件下源流量、扩散时间、源瓶压力、真空泵压力等扩散工艺参数对扩散方块 电阻的影响，了解低压磷扩散工艺的调试思路、途径及方法，便于更高效开展低压磷扩散工 艺的调试。 关键词：低压扩散：源流量；源瓶压力：泵压力：扩散时间 0引言 随着全球经济和社会的快速发展，以煤炭、 石油、天然气为主的化石能源日渐短缺，环境污 染、生态恶化等问题目益加深，新型清洁能源备 受人们关注。太阳能因其资源丰富、分布J。泛、 易利用、成本低等特点成为最具发展潜力的可再 生能源之一。太阳能发电技术已日渐成熟，可满 足全球不断增长的电量需求。太阳电池是光伏发 图1常压扩散装置示意图 电系统中最重要的一部分，p—n结又是晶体硅太 阳电池的核心部分，没有p一11结，便不能将光转 而低压扩散技术可以弥补以上诸多不足， 换为电，也就不能成为太阳电池…。因此，D—n 真空环境的引入大幅提高了扩散均匀性和稳定 结的制造是最重要的工序。 性(在高达80～120Q／口方块电阻范围内，片 管式扩散炉特别是卧式扩散炉，是光伏与 内均匀性可达4％以内，片问和批间均匀性可达 半导体生产线扩散工序的重要工艺设备之一。 3％)，真空腔室内稳定均匀的气流允许放入更密 集的电池片(电池片间距可缩短至2 目前在晶体硅太阳电池核心工艺D一11结制造过程 ram)，大幅 中，通常采用传统的常规闭管扩散技术，其扩 提高了产能(单管产能可达1000片甚至更多)； 散装置如图1所示。但该技术的不足之处在于： 同时，得益于真空环境下工艺气体的精确控制 1)掺杂源消耗量大；2)扩散质量易受排风等环 和混合，可以节省气体的用量，且可制作更高 境变化的影响，设备之问相互干扰；3)炉内压力 方块电阻的电池片(可制作高达150Q／口的方块 主要靠通入大量的氮气来维持，稳定性较差，而 电阻)。目前，低压扩散技术已经逐步得到业内 且浪费气体[121。 的认可和应用【3’4]。 收稿日期：2016一05—30 通信作者：李吉(1987一)，女，本科，主要从事晶体硅电池方面的研究。lji@jasolar．com ———————《卜————— SOLARENERGY 09／2016 万方数据 SOLARENERGY ■———一圜田啊 1低压扩散技术原理及工艺 低压扩散炉的T作原理为：通过真空泵的 作用，使反应腔室处于真空状态，然后通入丁 艺气体，扩散过程中使腔室维持在恒定的真空状 态，从而保证腔室内的磷离子浓度不变。由于 真空条件下气体分子白m程增加，气体分严钧! 硅片表面的附着能力也有很大改善，且避免了 出现大量的气体湍流，此时磷离子可以均匀地 分布于硅片表面，且在硅片表面扩散一层均匀 的杂质原子，从而保证硅片扩散的均匀性。由 a常