定位运动平台气浮导轨设计 the design of aerostatic stage for the positioning platform.pdfVIP

2016年7月 机械设计与制造工程 Jul．2016 Machineand V01．45No．7 第45卷第7期 DesignManufacturingEIlgineefing DOI：10．3969／j．issn．2095—509X．2016．07．015 定位运动平台气浮导轨设计 刘梅1，钟黔2 (1．国家知识产权局专利局专利审查协作江苏中心，江苏苏州215000) (2．迅达电梯有限公司苏州制造分公司，江苏苏州215000) 摘要：针对高加速度高精度定位气浮平台对气浮导轨高刚度高承栽能力的要求，采用二维线性插 值和有限元法推导平面气浮空气轴承的静态性能公式，利用数学软件MArll．AB编写有限元程序 计算气浮导轨的静态性能并分析相关参数对静态性能的影响。有限元分析结果表明：当气浮平 台中节流孔之间的排距与气浮面宽度的比值为一定值、气浮厚度为另一定值时，气浮平台的角刚 度和承栽能力得到较优值。研究结果为气浮导轨的静态性能优化提供了理论参考，为气浮平台 的结构优化提供了方向。 关键词：气浮导轨；承载力；有限元编程 中图分类号：THl28 文献标志码：A 气浮导轨的承载能力和刚度是保证高加速度 l气浮导轨 高精定位气浮平台性能的重要因素¨。J。一般情 高加速度高精度定位气浮平台的结构如图 况下，导轨气浮面积的增大和节流孔数量的增多虽 l【41所示。气浮导轨由上导轨、下导轨以及供气系 然可以不同程度上提高导轨性能，但同时也造成了 统3部分组成，其中上导轨上面开有节流孔，其承 精力u-r_气浮面积的增大，加工难度以及生产成本的 载原理如图2所示。当供气压力为P0时，气体经 提高，甚至增加气浮导轨被由外力作用、灰尘以及 节流孔c后压力变为Pd，最终流至外边界，此时压 温度变化导致的变形卡死的危险。因此设计时，在 力变为标准大气压力P。。两导轨间存在气体压力 满足结构性能的前提下，应尽量减小导轨的气浮面 分布，将上导轨上下表面气体压力差值进行积分得 积和节流孔的数量。针对平台的整体结构特点，气 到导轨承载能力矾当节流孔直径取定值咖D时，此 浮导轨在承载着活动部件的自身重力的同时，还承 载着由于直线电机驱动力未通过平台质心，在启／ 轨下沉，气膜h重新变小，恢复到稳定值。反之，当 停的瞬间产生的冲击力以及该冲击力引发的作用 气膜h变小，导轨承载能力增大，导轨上浮，气膜h 于X轴和l，轴移动滑台的气浮导轨上的瞬时扭矩。 重新变大，恢复到稳定值。综上所述，当外载荷为 因此导轨的静态性能必须进行准确计算。 一定值时，气浮导轨稳定在一定厚度的气膜上，保 通常采用有限元法来计算气浮导轨的性能，在 证导轨内外稳定。 编写有限元程序时，为便于分析各种参数(比如数 量、间距、排距和气膜厚度)对导轨静态性能的影 响，需要将平台的结构尺寸进行参数化处理，进而 基座 对导轨结构进行优化。 文中研究的是用于芯片制造设备的高加速度 高精度定位气浮平台的气浮导轨设计，给出了气浮 导轨的结构设计，并依据有限元分析方法，分析其 结构的静态性能并对各结构参数(如间距、排距、 数量和气膜厚度)进行优化。 图l 高加速度高精度定位气浮平台结构示意图 收稿日期：2016—03—18 作者简介：刘梅(1988一)，女，山西浑源人。国家知识产权局专利局专利审查协作江苏中心，硕士。主要研