不同调制周期wsxa-c多层膜的组织结构及摩擦学特性 microstructure and tribological properties of wsxa-c multilayer films with various modulation periods.pdfVIP

第26卷第l期 中国有色金属学报 2016年1月 Vblume26Numberl TheChineseJournaIofNonferrousMetals Januarv2016 文章编号：1004—0609(2016)．01—0096．07 不同调制周期W吖a．C多层膜的 组织结构及摩擦学特性 杨芳儿，史玉龙，章荣，沈淑康，鲁叶，郑晓华 (浙江_[业大学材料科学与工程学院，杭州3100321 摘 要：采用磁控溅射法交替溅射wS2和石墨靶制备周期为4～23nm的WS，／a．C纳米多层膜。采用扫描电镜 采用纳米压痕仪、涂层附着力划痕仪和球盘式摩擦磨损试验机测试薄膜的硬度、结合力和在潮湿大气下(相对湿度 70％)的摩擦磨损特性。结果表明：多层膜结构致密，表面平整。a—C的加入改变wS，的结晶状态，多层膜为微晶 或非晶结构；随着调制周期的增大，多层膜的硫与钨摩尔比逐渐降低并趋于稳定(约为1．32)，其硬度稍有上升， 而结合力明显降低，摩擦因数由0．32降至0．26，而磨损率逐渐上升但显著低于纯wS，膜的。调制周期为4nm的 多层膜的耐磨性能最佳，磨损率约为1．03×10_13m3·N～·m～。 关键词：二_硫化钨；多层膜：调制周期：组织结构：摩擦：磨损 中图分类号：TOl74 文献标志码：A 固体润滑剂wS2因在真空环境中具有摩擦因数 WS2与a．C制成多层膜并获得合理的几何结构，有望 低、工作温度高以及耐磨性能好等优点而被广泛应用 改善WS，在潮湿空气中的耐磨性能。目前，国内关于 于真空设备及空间技术领域…，但其层状结构晶体边 WS2／a．C多层膜的研究鲜见报道。在此，采用射频磁 缘的不饱和悬挂键具有化学活性，在潮湿空气中摩擦 控溅射法制备了不同调制周期的wS2／a．C多层膜，并 时容易形成转移膜粘合到金属表面和发生氧化，显著 考察调制周期对wS2／a．c多层膜的组织结构及摩擦学 降低摩擦性能【2‘3】，且WS2薄膜以柱状方式生长时， 性能的影响，以阐明wS：／a．C多层膜在潮湿大气中的 其纵向承载能力较低。冈此，如何提高wS：薄膜在潮 摩擦学特性，为制备复杂环境下服役的wS：基高性能 湿和富氧气氛中的耐磨性能一直是国内外学者的研究 固体润滑薄膜提供理论和实验基础。 重点。 大量研究表明【4_6】，采取以下措施可改善WS2在 1 实验 潮湿空气中的耐磨性能如下：1)向wS2中添加Ag、 Ti和Cr等合金元素，提高薄膜的致密度以及与基底 1．1薄膜制备 的结合强度：2)将wS2与其他固体润滑剂制各成二 多层膜采用孑60mm、纯度为99．9％(质量分数) 元或三元复合薄膜，如Fe3Al八VS2、WS2巾订oS2／C、 的WS，和石墨靶交替溅射制备。基体为抛光的单晶硅 Ni45．caF2．ws2、cu．c．ws2掣7_l01，提高薄膜的硬度、 片((1l1)晶向)，表面粗糙度尺。不大于0．03“m。硅片 弹性模量、致密度和抗氧化等性能。然而，与其在真 min以除去表面氧化物，然后经 先在氢氟酸中浸泡15 空中的优异性能相比，wS2薄膜在潮湿空气中的性能 5 丙酮和无水酒精超声波清洗各1 min后快速烘干并 仍需进一步提高。