工业专用设备第卷国外准分子激光步进机的发展.pdfVIP

年 第 期 电子 工 业 专 用 设 备 第 卷 国外准分子激光步进机 的发展概况及前景 电子 工 业 部 第 研 究所 葛 功 润中 摘 要 本 文概 述 了准 分 子 激 光 步进 机 的 发 展概 况 , 预 测 了在 今 后 几 代 集 成 电路 生 。 产 中的广 阔前 景 主 要 介 绍 了准 分 子 激 光 窄谱 带 宽控 制 , 中心 波 长调 准 的 稳 定性 要 求 , 光 学 系 统 设 计 与材料 要 求 , 以 及 对 步进 扫 描 曝 光 技 术研 究 的 迫 切 性 。 关键 词 、 光源