原创力文档- 1、本文档共5页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
位置敏感器件(PSD)的杂光干扰研究
See discussions, stats, and author profiles for this publication at:
/publication/294184724
Light disturbance to position sensitive
detectors - pattern and method to
overcome it
Article in Qinghua axue Xuebao/Journal of Tsinghua University · January 1997
CITATIONS REA S
7 5
3 authors, including:
Guangzhi Wang Hui ing
Tsinghua University Tsinghua University
237 PUBLICATIONS 616 CITATIONS 63 PUBLICATIONS 142 CITATIONS
SEE PROFILE SEE PROFILE
Some of the authors of this publication are also working on these related projects:
Ultrasonic Fusion Imaging View project
Medical Robotics for Interventional Surgery View project
All content following this page was uploaded by Guangzhi Wang on 31 January 2017.
The user has requested enhancement of the downloaded file.
( )
清 华 大 学 学 报 自 然 科 学 版 1527
1997 年 第 37 卷 Journal of T singhua U niversity (Sci T ech) 第 1 期 第 61～ 64 页
位置敏感器件(PSD ) 的杂光干扰研究
王广志, 丁海曙, 丁 辉
清华大学 电机工程与应用电子技术系, 北京 100084
文 摘 光电位置敏感器件(PSD ) 是一种可直接对其光敏
面上的光斑位置进行检测的光电器件, 基于 PSD 可构成多 1 PSD 的工作原理与等效电路
种非接触的高精度动态位移监测仪器。在 PSD 器件使用中
PSD 器件有若干种形式, 可分为一维器件和二
的一个关键问题是如何克服各种杂光干扰, 以提高检测的精
[ 6 ]
维器件两大类。二维器件又有若干种结构 。各类型
度和可靠性。根据 PSD 的原理及其特征方程, 分析了杂光在
PSD 上的两类作用模式, 并根据 PSD 特征方程推导了存在 的PSD 结构不同, 但其基本原理是一样的, 它们都
杂光干扰时 PSD 输出信号与杂光的关系, 及杂光导致的位
文档评论（0）