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湿式洗涤塔处理技术应用于空气污染防制之原理与应用
104年度桃園縣大學校院產業環保
技術服務團講習會
濕式洗滌塔處理技術應用於
空氣污染防制之原理與應用
主講者:林錕松 博士
元智大學化材系教授暨環境科技研究中心主任
2015/7/6
內容綱要
濕式洗滌塔處理技術之簡介
濕式洗滌塔處理技術之應用
濕式洗滌塔處理技術之簡介
洗滌技術簡介
硫氧化物控制技術
污染氣體洗滌技術簡介
填充塔常見問題
洗滌技術影響因素
濕式洗滌塔之優缺點比較
洗滌技術簡介(1/2)
現行高科技產業所排放的酸鹼
廢氣皆使用填充式洗滌塔來做
處理 ,但在先前的研究當中顯
示 ,目前傳統的填充塔對於低
濃度 、高風量之酸鹼氣狀污染
物的處理效果不佳 ,無法符合
半導體法規對於酸性廢氣處理
效率必需大於95%的規定 ,因
此處理效率必需大幅提昇。
洗滌技術簡介(2/2)
目前對於無機酸鹼性氣體之處理方
法主要以吸收法為主 ,其原理為藉
由氣液兩相接觸之氣體吸收程序 ,
將氣體中之溶質吸收輸送至液體內
部 ,常見之吸收洗滌裝置有:噴淋
塔 (spary column) 、板式吸收塔
(plate absorption tower)及填充塔
(packed tower) 等,所用之裝置 ,必
須能使氣體與液體充分接觸 ,以提
高吸收效率 。
污染氣體洗滌技術簡介(1/3)
其中又以填充塔為各種氣體
吸收洗滌塔中最被廣泛使用 ,
而園區內半導體及光電業廠
家,也多以使用濕式洗滌塔
來作為處理酸性及鹼性氣體
之防制設施 。
填充式洗滌塔之構造如圖所示
污染氣體洗滌技術簡介(2/3)
塔中通常填充著比表面積甚
大之填料物(packing) ,其目
的乃欲使氣體與液體間具有
充分接觸之機會。操作時 ,
氣體混合由塔底進入 ,液體
吸收劑則自塔頂由一分佈器
噴淋而下 ,然後在其流經填
料的途中 ,與逆流而上之氣
體接觸 ,並吸收氣相中之溶
質 ,遂成一溶液自塔底流出 。
污染氣體洗滌技術簡介(3/3)
濕式洗滌填充塔由於其設備為連續式操作 ,
且濕式洗滌塔通常將洗滌液循環使用 ,因
此長時間操作之下 ,難免會有各種問題發
生。若洗滌液中粒狀物含量太高 ,將易造
成填料 、管線 、噴嘴 、流量計中之粒狀物
堆積 ,造成噴嘴堵塞 、管徑變小或是浮子
流量計卡死。
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