level set方法在z切石英各向异性湿法刻蚀模拟中的应用 application of level set method in 3-d micro-structure simulation of z-cut quartz after anisotropic wet etching.pdfVIP

圈髓 5070—06) 注：江苏省前瞻性联合研究项目(N0．BY201 摘要：石英是MEMS元器件的重要基底材料，其各向异性湿法刻蚀过程极为复杂。LevelSet方 Set方法在石 法作为一种隐式追踪运动界面的方法，可用于追踪复杂运动界面。详细说明了Level 英各向异性湿法刻蚀模拟中的应用过程，包括构建函数、控制方程、数值解法和重新初始化。通过 z切石英凹槽、凸台刻蚀形貌SEM图和模拟结果的对比，表明基于LevelSet方法开发的石英湿 法刻蚀三维形貌模拟程序是稳定有效的。 关键词：LevelSet；Z切石英；湿法刻蚀；三维形貌模拟 中图分类号：TN403，TN405文献标识码：A 文章编号：1006—883X(2016)04—0007-05 收稿日期：2016-01—13 Level Set方法在Z切石英各向异胜 湿法刻蚀模拟巾响应用 蔡鹏鹏仇晓黎幸研 东南大学．江苏南京211189 一、引言 需要追踪的运动曲线(曲面)嵌入到高一维的函数中， 丁英各向异性湿法刻蚀可以用来加工一些特殊结 将其表示为该函数的零等值线(面)，这样避免了对 ／1]构，如阵列结构、音叉Ⅲ等，在传感器中应用 追踪曲线(面)的参数化表示，在复杂运动界面追踪 广泛。但也正是由于各向异性的存在，使得石英湿法 和数值模拟中优势明显。 刻蚀微结构设计对理论和经验要求较高。从工程应用 以曲线为例，有许多方法可以实现曲线的追踪， 的角度，希望找到一种有效的方法准确模拟石英在加 最简单的方法是将曲线直接表示为函数珂@，力。但很 工不同时间段的三维形貌，辅助掩膜设计，充分开发 多情况下却做不到，如闭合曲线。如图1(a)所示，圆 各向异性湿法刻蚀微加工工艺的潜能口】。 形封闭曲线√z2+Y2=10E个x会对应多个Y值。这 在进行石英各向异性湿法刻蚀形貌数值模拟时， 时可以根据Ls的思想，将圆形曲线嵌入到高一维的函 所要追踪模拟的刻蚀界面曲面本身是高维的，同时又 因为各向异性的存在，在石英表面法向存在不同的刻 数厂(x，Y，f)=√z2+Y2—10中，将圆形曲线表示为该函 蚀速度。这种演变过程与LevelSet所描述的曲面变化 数的零等值线，如图1(b)所示。 Set方法应用到石英各向 LS方法还可以很容易的表示曲线或曲面的拓扑变 特点极其吻合。可以将Level 异性湿法刻蚀模拟中，实现其工程应用价值。 化，如断裂、融合，这在MEMS加工工艺，如刻蚀、 沉积中经常出现。 二、LeveISet方法 2、曲面控制方程 l、Level LS方法的关键是LS函数痧(王，f)的演化和零等值线 Set函数构建 Level (面)追踪。为了实现运动界面追踪，首先需要表示 Set(LS)方法是Osher和Sethian川提出的一 种隐式追