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2017-09-05 发布于上海
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mems继电器典型结构及其研究进展 typical structures and developing trends of mems relays

201 and 1年第30卷第7期传感器与微系统(TransducerMicrosystemTechnologies) 右、声吣声咕p乜，斗咕，、心o ’综述与评论l ■、pp毋p《s、# MEMS继电器典型结构及其研究进展黄虎，尤政，阮勇，张弛 (清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室。北京100084) 摘要：综述了目前国内外主要MEMS继电器的原理和典型结构，包括静电型、电磁型、电热型、液态型及混合型微继电器，并对各种类型微继电器的特点进行了比较。关键词：微机电系统；继电器；典型结构 581 中图分类号：TM 文献标识码：A 文章编号：1000--9787(2011)07-0001-04 structuresand trendsofMEMS Typical developing relays HUANG Chi Hu，YOU Yong，ZHANG Zheng，RUAN ofPrecisionMeasurementand of (StateKeyLaboratory TechnologyInstruments，Department PrecisionInstrumentsand Mechanology，TsinghuaUniversity，Beijing100084，China) of basedonMEMS athomeandabroad and structuresMEMS Abstract：The typical relays technology principles aresummarized．ThecharacteristicsofvariousMEMSsuchas relay and MEMS ale liquid-filledhybrid relayscompared． words：micro-electro-mechanical structure Key system(MEMS)；relay；typical 0引言 1．1 悬臂梁式结构 S等人制作的单端悬臂梁式继继电器是广泛用于信息处理、通信、控制、机电一体化图1是美国Majumder 等领域的重要元器件之一。随着航天和微小卫星技术的大电器的结构示意图。该继电器有2个接触电极，分别连接力发展，对于继电器小体积、低功耗的要求越来越迫切，传输入和输出信号，使得开关部分的信