mems微电容式传感器的传感特性研究 study on sensing characteristics of micro capacitive sensor based on mems.pdfVIP

下载本文档

3
0
约1.25万字
约 5页
2017-09-05 发布于上海
举报
版权申诉

mems微电容式传感器的传感特性研究 study on sensing characteristics of micro capacitive sensor based on mems.pdf

1、本文档共5页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

mems微电容式传感器的传感特性研究 study on sensing characteristics of micro capacitive sensor based on mems

第22卷第10期传感技术学报 V01．22No．10 CHINESE JOURNALOFSENSORSAND 2009年10月 ACTUATORS 0ct．2009 on ofMicro onMEMS’ Characteristics SensorBased StudySensing Capacitive WANG Qingminl，YANGYaoen弘，SUMubia01．LIUYuhon91 andControl Institute，ShijiazhuangRailwayInstitute，Shijiazhuang050043，China；、，1·StructuralHealthMonitoring Institute 050041，C^iM ／、互ShijiazhuangofRaih．oayEngineering，Shijiazhuang atthe oftraditionalsensorforstructuralhealth fora time， Abstract·Aimingdisadvantage 10ng monitoring anew of micro sensorbasedonMEMSis staticand charac— type capacitive developed．The sensing dynamic teristicsare in above in and resultsshowthatthe is analyzedtheory comparedexperiment．The linearity 0．999％F．Sunder is andthe is1．43％ loading-unloadingcycles，thesensitivity6．9840tLe／kNrepeatability F．S；the charactersiSaswellastraditionalaccelerometer． dynamicsensing words：MEMS Key sensor；staticsensingcharacteristics；dynamicsensing EEACC：7230；7310K MEMS微电容式传感器的传感特性研究* 王庆敏1，杨要恩孙，苏木标1，刘玉红1 ／1．石家庄铁道学院，河北省大型结构健康诊断与控制重点实验室，石家庄050043-、＼2．石家庄铁路工程职业技术学院机电系，石家庄050041 ／摘要：针对传统的传感器无法进行长期健康监测的不足，研发