NaxCoyO薄膜的脉冲激光沉积制备及表征-济南大学物理学院.PDFVIP

物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 60 ，No. 5 (2011) 057105 Zn1 － x － y Nax Coy O 薄膜的脉冲激光 沉积制备及表征* 李世帅1) 冯秀鹏1) 黄金昭1) 刘春彦1) 张 仲1) 陶冶微2 ) 1)( ， 250022 ) 济南大学理学院 济南 2 )( ， 2 10003 ) 南京邮电大学理学院 南京 (20 10 6 27 ;20 10 8 16 ) 年 月 日收到 年 月 日收到修改稿 ， Si (111) Na ，Co ZnO . X 、 采用脉冲激光沉积技术 在 衬底上成功制备出不同含量 共掺的 薄膜 利用 射线衍射仪 、 、 . 原子力显微镜 荧光光谱仪以及四探针电阻率测试台对薄膜的结构 表面形貌和光电性质进行了表征 重点讨论了 . :Na ，Co ZnO 不同掺杂浓度对薄膜光电性质的影响 结果表明 共掺没有改变 的六角纤锌矿结构且掺杂导致薄膜仅 . Na ，Co 10 % ， ， 397 nm ， 有的的紫外发光峰出现红移 当 掺杂浓度分别为 时 峰值最强且红移最明显 发光峰波长为 薄 － 1 ， 8. 34 × 10 ·cm . . 膜的电阻率最低 达到了 Ω 深入讨论了上述结果的产生原因 : ，Zn Na Co O ， ， 关键词 脉冲激光沉积 1 － x － y x y 薄膜 光电性质 红移 PACS :7 1. 55 . Gs ，73 . 6 1. Ga ，78 . 66 . Hf ， ZnO . Na ， 构中 会影响 晶体结构中的缺陷浓度 因此 Co ZnO . Na ，Co 1. 引 言 的掺入势必大大影响 的光电特性 而