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Architectural FunctionalGlassNo2 2017 不同镀膜玻璃膜层分析方法的比较 上海耀皮玻璃集团股份有限公司 陈波 摘 要：利用多种科学分析方法对镀膜玻璃的微观结构进行分析，介绍不同分析方法的应用，并比较 其特点。 1综述 2几种表面形貌分析方法 玻璃表面薄膜分析方法，通常有三个方面的应 2．1扫描电子显微镜SEM 用：表面结构形貌的观察、表面化学成分和浓度深度 扫描电镜是将通过阳极电压加速后具有很高动 分布分析、表面结构分析。 能的电子束聚焦在样品的表面进行扫描，并同时收 1．1表面结构形貌的观察 集从样品表面所激发出的反射、二次电子等信号，按 指的是宏观几何外形分布。针对不同范围的表 相同方式在显像管屏幕调制成像。扫描电镜的分辨 面形貌，可以使用不同的显微镜来观察到。光学显微 率可以达到几个纳米甚至更低 ，放大倍数能够高达 镜可以观察到 1Ixm以上的表面形貌；采用紫外光的 五十万倍。扫描电镜可以聚焦比透射电镜更细的电 光学显微镜能够观察到低至50nm的表面形貌；对于 子束 ，因此它具有聚焦深度大、景深大、图像立体感 50nm以下的微观结构，就需要使用透射电镜和扫描 强、放大倍数大、成像清晰等特点；其样品室也比较 电镜来观察，目前透射电镜的分辨率可以达到0．2nm 大，对样品无特殊要求，能够观察较大样品。扫描电 的水平。当显微镜的分辨率达到原子尺度时，可以观 镜通常用于观察薄膜材料的表面形貌和断面形貌。 察到原子排列，这样不仅观察形貌，同时还能进行结 扫描电镜的样品制样也非常方便，对于玻璃这类 构分析。 导电性较差或者绝缘的样品而言，为了防止电荷聚 1。2表面化学成分和浓度深度分布分析 集，仅需用真空方法在玻璃表面镀一层金、铝、碳等 低能电子 、x射线与物质相互作用强烈，比较适 导电膜，即可放人样品室进行测量；而对于导电性较 合用于表面成分分析，如电子探针 、俄歇 电子能谱、 好的材料，仅需用导电胶将样品粘于样品座即可。 二次离子质谱 、离子散射普 、x射线光电子能谱等。 2．2透射电子显微镜TEM 可测定表面组成 、化学态及其表面分布，并可测定元 透射电镜是利用高聚焦的电子束轰击样品，同时 素在表面的纵向深度分布。椭偏仪的应用也能够分 收集穿过样品的电子，并通过一系列信号放大成像。 析出已知膜层材料的结构分布。 透射电镜的分辨率可以达到0．2nm的水平，发大倍数 1．3表面结构分析 能够达到几十万倍。利用透射 电镜对断面样品的观 指表面原子排列与表面电子态分析，包括表面能 察(明场相或暗场相)，可以得到膜层的厚度、界面等 级性质 、表面密度分布、表面电荷分布及能量分布。 微观结构。但是透射电镜对样品的制备要求非常高， 可用红外反射谱、x射线光电子能谱、紫外光电子能 样品必须制备的非常薄，这样薄膜非常容易从玻璃基 谱、扩展x射线吸收精细结构、低能电子衍射、光电 片上脱落。因此透射电镜的样品制备是透射电镜最 子衍射、表面扩展能量损失精细结构、扫描隧道显微 关键的步骤，这也是透射 电镜测试昂贵的一个原因。 镜、原子力显微镜等。 2．3原子力显微镜AFM 对于玻璃加工商而言，主要关注的是单层薄膜的 原子力显微镜是在扫描隧道显微镜的基础上发 表面形貌、多