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design and analyses of a mems based resonant magnetometer基于mems谐振磁强计的设计和分析

Sensors 2009, 9, 6951-6966; doi:10.3390/ OPEN ACCESS sensors ISSN 1424-8220 /journal/sensors Article Design and Analyses of a MEMS Based Resonant Magnetometer Dahai Ren *, Lingqi Wu *, Meizhi Yan, Mingyang Cui, Zhe

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