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石墨烯(Graphene)(Graphene)sp2杂化轨道组成六角型呈蜂巢状晶格的平面薄膜,是一种只有一个原子层厚(0.334nm)(Graphene)(Bilayer or double-layer graphene)(few-layer)3-10(multi-layer graphene)(Graphenes)(CVD)(HTHP)(PECVD)(CVD)CVD法是可控制备大面积石墨烯的一种最常用的方法。它的主要原理是利用平面金属作为基底和催化剂,在高温环境中通入一定量的碳源前驱体和氢气,相互作用后在金属表面沉积而得到石墨烯。
从生长机理上主要可以分为两种:一是,渗碳析碳机制,即对于镍等具有较高溶碳量的金属基体,碳源裂解产生的碳原子在高温时渗入金属基体内,在降温时再从其内部析出成核,进而生长成石墨烯;二是,表面生长机制,即对于铜等具有较低溶碳量的金属基体,高温下气态碳源裂解生成的碳原子吸附于金属表面,进而成核生长成“石墨烯岛”,并通“石墨烯岛”的二维长大合并得到连续的石墨烯薄膜。 通常为了确保实验的安全性,在体系中还应连通入氩气加以保护。
最初常用的金属基底包括钌、钴、镍、铂、铱等。通过控制基底的类型、生长温度、前驱体流量、降温速率等参数,可实现石墨烯生长的调控。
工艺过程:
1)4cm*4cm大小,放置在管式炉的石英管内;
2)在Ar气气氛下,常压升温到800-1000℃(压气流量600sccm,1sccm=1ml/min)升温速率8℃/min;
3)当铜箔达到目标温度后,通入氢气还原退火,流量为60sccm,Ar气流量与温度保持不变;
4)20min后,通入10-50sccm甲烷、100sccm氢气和1000sccmAr气,生长5-15分钟后,关闭甲烷和氢气,在Ar气气氛下随炉降温。
得到样品。
评价:
CVD法制备石墨烯产物通常具有较大的面积,较高的结构质量,缺陷少,并且层数可控。由于 CVD 方法制备石墨烯简单易行,所得石墨烯质量很高,可实现大面积生长,而且可以转移到各种基体上使用。还可以在较低的温度下进行,从而可以降低制备过程中能量的消耗,并且,石墨烯与基底可以通过化学腐蚀金属的方法容易的分离,有利于后续对石墨烯进行加工处理。
(2)球磨法
原理:
基本原理在于使用机械作用力来克服石墨层间的范德华力,从而使石墨烯得到分离,最终得到一小部分的单层石墨烯。该法采用机械力来分离已知的最薄材料,要求炭材料前驱体必须要有良好的解理性
球磨法是粉末工业中一种常用的技术,是一种很好的产生剪切力的方法。在大多数球磨设备中,有两种途径可以达到剥离和粉碎的效果。
第一种是剪应力,被认为是很好的剥离机械途径。这种方法可以制备大尺寸的石墨烯薄片。第二种是球在碾压作用下发生碰撞和垂直冲击作用。这种方法可以粉碎石墨烯薄片,有时甚至可以晶体结构粉碎成非晶型或者不平衡相。
因此,期望的是减小第二种应力从而制备出高质量大尺寸的石墨烯。
工艺过程:
1)先称取20g石墨放入干净球墨罐内;
2)按照球料比10:1称取不锈钢球(直径5mm 12mm 15mm体积比3:1:1);
3)添加100ml无水乙醇后加盖密封,在行星球磨机上研磨12h(球磨机自转速度1200r/min.公转速度600r/min);
4)试验过程中每隔4h加入20ml无水乙醇,结束后将球磨罐中产物干燥得到黑色粉末;
5)将此粉末再放入清洗干净的球磨罐中干研磨16h后取出产物(球料比同湿磨);
6)将产物称取约2g加到1000ml无水乙醇烧杯中,密封后放入超声波清洗器中24h,(温度为20-30℃)然后将石墨烯溶液在10000rpm离心机上离心5min;
7)离心后用滴管取上层清液滴到新的云母片上,在密封环境下自然风干得到石墨烯样品。
得到样品。
评价:
起初,球磨法被用于减小石墨的尺寸,制得石墨片厚度可以小于10nm。但是这种方法没有进一步得到石墨烯。
直到2010年,相同的理念在液相超声制备石墨烯中得到了应用,Knieke和Zhao等人改进球磨技术后得到了石墨烯。创新性工作结束后,球磨法制备石墨烯得到了蓬勃的发展,行星球磨机和搅拌球磨机这两种技术得到了广泛的应用。
球磨法的优势是可以提供功能化石墨烯,操作简单,工作要求不够苛刻,但缺点是需要较长的时间(几十个小时)而且需要超声溶解等后续步骤。
(3)外延生长法
原理:
外延生长法是指利用晶格匹配,在一个晶体结构上生长出另一种晶体的方法。根据所选择的基底种类,外延法可以分为SiC外延生长法和金属表面外延生长法。
SiC外延生长法:
将SiC单晶片经过氧化或氢气刻蚀处理,再置于超高真空和高温环境下,利用电子束轰击SiC单晶片,除去其表面氧化物;再在高温条件下将其表面层中的Si原子蒸发,使表面剩余的碳原子发生重构,即可在SiC单晶片表
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