三波段宽带红外Ge窗口多层增透膜的研制.pdfVIP

第3卷第1期 光学与光电技术 V01．3，No．1 2005年2月 一OPTICS＆OPTOELECTRONICTECHNOLOGY 文章编号1672—3392(2005)01．0032—03 3．5～12．5 pm三波段宽带红外Ge窗1：3 多层增透膜的研制 王懿姑 朱福荣 张凤山 (中国科学院上海技术物理研究所，上海200083) 备工艺及光学、机械性能测试结果。该元件可应用于空间红外遥感系统。 关键词 红外窗口；宽带增透；优化 中图分类号TN214文献标识码A 宽带多层增透膜常常需要3种或3种以上的材 1 引 言 料。对材料的基本要求是：透明区间宽、吸收损耗 在空问红外遥感系统中，Ge窗口是非常重要的 小、可靠性高。一般来说，高折射率材料比较容易 光学元件。Ge具有比较宽的红外透明区域，同时价 获得，如Ge、ZnS都是在中远红外区优良的镀膜材 格又不十分昂贵。使用Ge窗口一般都要求在Ge料。但是，选取合适的低折射率材料并不容易，因 表面镀制增透膜系：一方面，Ge表面增透提高了光 为虽然常见的氟化物都属此类，但氟化物膜大都是 瞳入射光的利用效率；另一方面，由于Ge表面的 多孔柱状、低密集度的软膜，容易吸收水汽，导致 反射率比较高，如果不进行增透，像质会因形成“鬼 元件的耐久性变差，并不适合空间光学应用。曾经 影”串绕【11。在用于气象卫星的遥感系统中，通常 广为使用的低折射率氟化物是ThE4，无论是从光学 要求Ge窗口能够覆盖从中红外到远红外的宽带光 性质，还是机械性能都具有优良的品质【2】，但是由 谱区，包括3．5~3．9um，6．3~7．6肛l以及10．5—12．5于Th元素有放射性，不仅对人员和环境有危害， 岬l等多个波段，因此，必须在Ge窗口上镀制多层 而且会造成探测器的老化，因此人们纷纷寻找能够 宽带增透膜。同时，由于空间应用的特殊性，要求 替代ThE4的镀膜材料。已经有一些人做了大量的工 膜层有良好的牢固度、致密度、耐热、冷冲击性以 俐4’川。根据我们的经验，YbR是一种比较合适的 及抗潮解性等。因此除了要满足需要的光谱特性 低折射率层材料。另外两种较高折射率红外材料， 外，还对膜层材料的选择、膜系结构设计以及工艺 采用了常用的Ge和ZnS。实践表明，用它们可以 选择都有特殊的考虑f2，引。 实现比较优良的红外宽带增透元件。 本文针对空问红外技术中对薄膜材料的特殊 要求，对比常见低折射率材料，提出采用YbF3来3材料光学特性试验 代替ThE4制备宽带红外窗口，并在研究YbF3、Ge、 任何材料的折射率都存在对波长的色散特性， ZnS材料的光学特性基础上，讨论了YbF3与另外两 尽管在红外区这种色散不是非常显著，但是对于 种常见红外材料Ge、ZnS组合在Ge基片上制备宽 3．5—12．5 lam这样的带宽来说，折射率的色散是不可 带增透膜的膜系设计、监控工艺，并给出了相关的 忽视的。同时，由于膜层的光学常数受镀制工艺条 光谱测试结果及膜层可靠性试验结果。 件(主要是基片温度、沉积速率和真空度)的影响 很大，有必要寻求最佳的工艺参数