ITO透明导电薄膜的研究进展_成立顺.pdfVIP

综合评 述 Vol.27,No.3,2008 10 ITO透明导电薄膜的研究进展 , 12 2 2 1 2 1 成立顺 ,孙本双 ,钟景明 ,何力军 ,王东新 ,陈焕铭 ( 宁夏大学,宁夏 银川 ) 1. 750021 ( 西北稀有金属材料研究院,宁夏 石嘴山 ) 2. 753000 摘 要:介绍了ITO薄膜的基本特性和透明导电原理,综述了ITO薄膜主要的制备技术及其研究进展,并指出了 不同制备方法的优缺点。还对 ITO薄膜晶格常数畸变、载流子浓度上限和最佳掺杂量、红外反射率、光吸收边的 移动等基础理论研究进展进行了