厚膜第5章.pptVIP

5. 1 概 述 厚膜无源网络的制造包括厚膜导体、电阻、电容等无源器件的制造及互连。 目前最常用的基本制造技术是印刷和烧结。 制造顺序：导体 (包括电容器下电极） 、电容器、电阻器 在基板上反复进行印刷、干燥和烧结，便可依次制成各种无源元件。 5.2 厚膜浆料的特性和制备 厚膜浆料： 由一种或多种无机微粒分散在有机高分子或低分子化合物液体中组成的胶状体或悬浮体。 有机化合物液体称为载体，载体不参与膜的 组成，它在高温烧成中分解逸出，其性质却直接影响着浆料的特性，因而也影响厚膜的性能。 5.2.1浆料的特性 一、浆料的流变特性 流变特性：物质在外力作用下产生形变和流动的特性。 为了精确控制微电路的印刷尺寸，浆料必须具有很好的流变性。在丝网印刷的不同阶段，要求浆料既像液体又像固体。 在刮板运动的转印过程中，浆料应很好地流动，光滑地通过掩模图形而到达基板，在丝网 上应无浆料残留；而当浆料印到基板上后，像固体那样不再流动和变形，以保持图形尺寸的稳定。 浆料的流动性用粘度来表征 如果把流体设想为层状的，则使二平行流体层产生相对运动的力为 式中，η- 粘度 A - 流体层面积 dv/dy - 流速梯度 τ=F/A 切应力 γ- 切变率 粘度单位-泊（P）、厘泊（CP） 流体的流变类型有： 胀流型、牛顿型、假塑流型、塑流型、触变型 其流变特性见下图 3、假塑流型： 粘度随切应力的增加而减小，适合做厚膜浆料； 4、塑流型： 粘度随切应力的增加而减小，适合做厚膜浆料； 5、触变型：粘度随切应力的增加而减小，适合做厚膜浆料； 二、丝网印刷对浆料的要求 浆料在刮板的作用下，容易从丝网转印到基板上，并在基板上保持所给出的图形，下图是普通浆料和高触变型浆料的丝网印刷特性 三、粘度的测量方法 1、漏斗法 以一定体积的浆料通过某一直径的圆孔所需要的时间，表示相对粘度。 精度低 2、旋转法 旋转式粘度计 将测杆放入一装有浆料的容器里，给侧杆一定的转速，侧杆转动时受到浆料粘滞力，粘滞力越大，粘度越大，通过测试粘滞力的大小 测试流体的粘度 5.2.2 厚膜浆料的组成 一、浆料组成： 功能相 粘结相 有机载体 1、功能相 作用：导电作用，决定电性能、物理和机械 性能。 功能相材料：金属粉和金属氧化物粉 金属粉的特性： 比表面积——影响烧成膜的致密性 粒径和分布——影响印刷性、导电性、烧成膜的致密性。 粒径要求：平均粒径＜2μm 最大粒径＜5μm 典型分布 形状：球形、类球形、片状 2、粘结相 作用：将功能相材料粘结在一起，使膜层与基板结合，之外，影响电性能和机械性能。 粘结相材料：Pb-B-Si玻璃 玻璃的性能 1）粘度 玻璃的粘度是一个很重要的参数，它与温度的 关系决定了厚膜的烧结温度范围。 高粘度玻璃：软化温度高，烧结温度高 低粘度玻璃：软化温度低，烧结温度低 增加粘度：SiO2、Al2O3、 TiO2 降低粘度：PbO、B2O3、ZnO 2）表面张力和润湿性 表面张力决定玻璃的润湿性，从而影响膜的附 着力。表面张力小，润湿性好。 玻璃润湿性的测量：玻璃粉放置在陶瓷基板上， 在850℃下烧结，观察其熔化状态，如果熔化状 态好，则润湿性好。 3）热膨胀系数 热胀系数影响膜层的附着力。 玻璃的热胀系数大于基板的热胀系数，会出现膜层的开裂现象。 做厚膜浆料选择玻璃时，玻璃的热胀系数略小于基板的热胀系数。 影响热胀系数的因素: 玻璃中酸性氧化物和碱性氧化物的含量。 酸性氧化物 ； 热胀系数 碱性氧化物 ； 热胀系数 4）玻璃的硅酸度 玻璃中酸性氧化物中的氧之和与碱性氧化物中的氧之和的比值。 酸性氧化物：4价金属氧化物（SiO2、TiO2、PbO） 碱性氧化物：2价金属氧化物（ZnO、MgO) 碱性氧化物：3价金属氧化物（Al2O3 、 B2O3) 硅酸度对厚膜浆料烧结特性的影响较大， 硅酸度接近1时，导体的性能最好。 3、有机载体 作用：使固体粉末分散成具有流体特性的浆料，便于印刷。 组成：溶剂；增稠剂；表面活化剂 5.2.3 浆料的制备 制备工序流程： 辊轧是制备浆料非常重要的工序，滚轧过程中，由于巨大的剪切应力，使团状的浆料逐渐分散开，成为均一细腻的膏状浆料。