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现代测试技术 2.2.3 电容式传感器 一、电容式传感器的工作原理和结构 二、电容式传感器的应用 现代测试技术 一 电容式传感器的工作原理和结构 . 电容式传感器是将被测非电量的变化转换成电容量变化的一 种装置，实质上就是一个具有可变参数的电容器。 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，如果 不考虑边缘效应，其电容量为  S C d 式中: ε——电容极板间介质的介电常数， ε ε ε，其中 0 r ε为真空介电常数， ε极板间介质的相对介电常数； 0 r S——两平行板所覆盖的面积； d——两平行板之间的距离。 现代测试技术  S C d 当被测参数变化使S、 d或 ε发生变化时， 电 容量C也随之变化。如果保持其中两个参数不变，而 仅改变其中一个参数，就可把该参数的变化转换为 电容量的变化，通过测量电路就可转换为电量输出。 因此，电容式传感器可分为变极距型、变面积型和 变介电常数型三种。 优点：  结构简单、分辨高、可非接触测量  可以在高温、辐射、强烈振动等恶劣条件下工作 现代测试技术  分类示意图： + a) 极距变化型; + + b)面积变化型:角位移型,平面线位移型,柱面线位移型. + + + + + + c) 介质变化型 现代测试技术 电容式传感元件的各种结构形式 1   2  (a) (b) (c) ( d ) ( e ) ( f ) (g ) (h) (i) ( j ) ( k ) ( l )