强流碳纳米管阴极快脉冲重频发射特性.pdfVIP

物 理学 报 ActaPhys．Sin．Vo1．64，No．16(2015) 164103 强流碳纳米管阴极快脉冲重频发射特性冰 向飞 )十 吴平2) 曾凡光3) 王淦平 ) 李春霞 ) 鞠炳全 ) 1)(中国工程物理研究院应用电子学研究所，高功率微波技术重点实验室，绵阳 621900) 2)(西北核技术研究所，高功率微波技术重点实验室，西安 710024) 3)(郑州航空管理技术学院，郑州 450015) (2014年12月24日收到；2015年3月25日收到修改稿) 在Cu基底上，采用催化热解生长法制备了石墨化程度较高的碳纳米管阴极．当电子束能量达到1M V、 梯度约为60kV／ns时，发射柬流强度达到15kA，相应密度约为1kA／cm。，束压、束流响应快，波形间几无 延时．以50Hz重复频率、约 15GW 束功率强流发射时，波形稳定，随着频率增高，稳定性降低．发射炮次达 1000后，表面形貌保持完整、界面无脱附；束压与束流基本满足空间电荷限制定律，发射机理属闪络型等离子 体发射，等离子体速度约为3．9cm／~s． 关键词：碳纳米管阴极，重复频率，场致发射，等离子体速度 PACS：41．75．Ht，52．59．Sa DOI：10．7498／aps．64．164103 重点研究 1 引 言 2 强流CNt阴极 随着 电子对抗技术发展，高微波驱动源功率、 能量水平、重复频率、装置的紧凑程度等要求不断 碳纳米管阴极为薄膜阴极，表面附着性能决定 提高，重复频率高、柬流密度大、发射均匀且稳定的 真空性能、寿命、稳定性、重复能力等．目前，制作 长寿命冷阴极技术成为高功率微波技术发展的关 CNt阴极常用方法有两种，即表面沉积催化金属纳 键技术之一．碳纳米管 (carbonnanotube，CNt)长 米膜的原位生长法和使用固化材料将CNt附着在 径比极大，为层状结构，具有特殊的结构、出众的机 表面的固化层法．原位生长法工艺流程为：先在基 械强度、良好的导电性能和化学稳定性 1【1．通常情 底沉积催化金属纳米层，待金属纳米层在高温下形 况下，分单壁与多壁结构，常用阴极为多壁碳纳米 成纳米催化颗粒后，CNt从纳米颗粒上生长．固化 管，被应用于扫描探针显微镜、真空微电子、微波放 层法主要有 电泳法和丝网印刷法，通常将CNt混合 大管、电子显微镜、场发射显示器等诸多领域 [2-4】， 在不同金属微粒与非金属固化材料 中，沉积在基底 目前报道的场致发射束流密度可达10A／cm 量 表面经高温烧结而成，在大面积阴极的制备上有较 级束流．美国Shiffier等 0【]研究了CNt阴极强流发 大优势． 射稳定性，在250kV，1s脉冲束压下、每隔10min、 受制备工艺限制，薄膜阴极或多或少存在一 以1Hz重复频率连续运行了1h，束流强度超过 些固有缺陷．若CNt通过固化材料或过渡金属与 2kA，发射稳定．所 以CNt阴极具备强流发射能力， 表面结合，长期工作 中在焦耳加热、脉冲冲击等作 但强流发射机理、稳定特性和重复频率能力需要 用下，固化层会干裂、松动甚至脱落，使 电子