传感与控制-电容式传感器.pdfVIP

传感器与测试技术 第7章电容式传感器 第二篇 常用传感器的原理及应用 第7章 电容式传感器 1.掌握传感器工作原理及特性 2.掌握测量电路 3.了解传感器的应用 机电学院 传感器与测试技术 第7章电容式传感器 7.1 工作原理及特性 工作原理:将被测量转化为电容量变化。 ε 两平行极板组成的电容器， + A 其电容量为: + + C ε ε0 r A δ δ、A或ε发生变化 时，都会引起电容的 δ 变化。 机电学院 传感器与测试技术 第7章电容式传感器 1、极距δ变化型 + + + + + + C ε ε0 r A δ 灵敏度： dC ε ε A C =− S − 0 r dδ δ2 δ 机电学院 传感器与测试技术 第7章电容式传感器 工作特性： 灵敏度s与极距的平方成反比，极距越小，灵敏 度越高，但极距减小受电容极板间击穿电压的限 制。一般δ0 ＝0.1～1mm左右。 电容量C与极距δ呈非线性关系，为了减小非线 性误差，通常极距变化范围Δδ/δ0≈0.01～0.1。 此类电容传感器仅适于微小位移的测量 （0.01μm～数百微米）；非接触测量 机电学院 传感器与测试技术 第7章电容式传感器