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3.11.3光纤传感器
3.11.3 光纤传感器 作 业 11.请计算说明超声波传感器如何测量流量。 12.请说明光纤传感器的NA。 (二)压力的检测 1、采用弹性元件的光纤压力传感器 利用弹性体的受压变形,将压力信号转换成位移信号,从而对光强进行调制。因此,只要设计好合理的弹性元件及结构,就可以实现压力的检测。下图为简单的利用Y形光纤束的膜片反射型光纤压力传感器。在Y形光纤束前端放置一感压膜片,当膜片受压变形时,使光纤束与膜片间的距离发生变化,从而使输出光强受到调制。 膜片反射式光纤压力传感器示意图 光源 接收 1 2 1 Y形光纤束 2 壳片 3 膜片 3 P 弹性膜片材料是恒弹性金属,如殷钢、铍青铜等。但金属材料的弹性模量有一定的温度系数,因此要考虑温度补偿。若选用石英膜片,则可减小温度的影响。 膜片的安装采用周边固定,焊接到外壳上。对于不同的测量范围,可选择不同的膜片尺寸。一般膜片的厚度在0.05mm~0.2mm之间为宜。对于周边固定的膜片,在小挠度(y<0.5t,t为膜片厚度)的条件下,膜片的中心挠度y为 R—膜片有效半径;t—膜片厚度; p—外加压力; E-膜片材料的弹性模量; μ—为膜片的泊松比。 可见,在一定范围内,膜片中心挠度与所加的压力呈线性关系。若利用Y形光纤束检测位移特性的线性区,则传感器的输出光功率亦与待测压力呈线性关系。 这种传感器结构简单、体积小、使用方便,但如果光源不稳定或长期使用后膜片的反射率下降,影响其精度。 改进型的膜片反射式光纤压力传感器的结构如图(a),这里采用了特殊结构的光纤束,光纤束的一端分成三束,其中一束为输入光纤,两束为输出光纤。三束光纤在另一端结合成一束,并且在端面成同心环排列分布,如图(b)。其中最里面一圈为输出光纤束1,中间一圈为输入光纤束,外面一圈为输出光纤束2。当压差为零时,膜片不变形,反射到两束输出光纤的光强相等,即I1=I2。当膜片受压变形后,使得处于里面一圈的光纤束,接收到的反射光强减小,而处于外面一圈的光纤束2接到的反射光强增大,形成差动输出。 4 p0 P=0 P0 (a)传感器结构 (b)探头截面结构 (c)测量原理 P I2 I1 I0 2(外圈) 1 (内圈) I1 I0 I2 I1 I0 I2 I1 I0 I2 3 (输入) 可见,输出光强比I2/Il与膜片的反射率、光源强度等因素均无关,因而可有效地消除这些因素的影响。 将上式两边取对数且满足(Ap)2≤1时,等式右边展开后取第一项,得到 这表明待测压力与输出光强比的对数呈线性关系。因此,若将I1、I2检出后分别经对数放大后,再通过减法器即可得到线性的输出。 若选用的光纤束中每根光纤的芯径为70μm,包层厚度为3.5μm,纤芯和包层折射率分别为1.52和1.62,则该传感器可获得115dB的动态范围,线性度为0.25%。采用不同的尺寸、材料的膜片,即可获得不同的测量范围。 两束输出光的光强之比为 A——与膜片尺寸、材料及输入光纤束数值孔径等有关的常数; p——待测量压力。 2、光弹性式光纤压力传感器 晶体在受压后其折射率发生变化,呈现双折射的现象称为光弹性效应。利用光弹性效应测量压力的原理及传感器结构如图。发自LED的入射光经起偏器后成为直线偏振光。当有与入射光偏振方向呈45o的压力作用于晶体时,使晶体呈双折射从而使出射光成为椭圆偏振光,由检偏器检测出与入射光偏振方向相垂直方向上的光强,即可测出压力的变化。其中1/4波长板用于提供一偏置,使系统获得最大灵敏度。 (b)传感器结构 1 2 3 4 5 P (a)检测原理 P 6 7 8 9 10 11 1 光源 2、8 起偏器 3、9 1/4波长板 4、10 光弹性元件5、11 检偏器 6 光纤 7 自聚焦透镜 偏振光 线偏振光 椭圆偏振光 为了提高传感器的精度和稳定性,下图为另一种检测方法的结构。输出光用偏振分光镜分别检测出两个相互垂直方向的偏振分量;并将这两个分量经“差/和”电路处理,即可得到与光源强度及光纤损耗无关的输出。该传感器的测量范围为103Pa~106Pa,精度为±1%,理论上分辨力可达1.4Pa。 这种结构的传感器在光弹性元件上加上质量块后,也可用于测量振动、加速度。 2 3 4 5 输出 前置 放大 前置 放大 I2-I1 I2+I1 驱动 1 6 I1 I2 PD1 PD2 光弹性式光纤压力传感器的另一种结构 1 光纤 2 起偏器 3 光弹性元件 4 1/4波长板 5 偏振分光镜 6 反射镜 p (三)液位、流量、流速的检测 1、液位
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