国家标准氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法征求.DOC

《氮化镓单晶衬底片X射线双晶摇摆曲线半高宽 测试方法》（送审稿）编制说明 2014年5月20日 目录 1. 工作简况 3 1.1. 任务来源 3 1.2. 编制和协作单位 3 1.3. 主要工作过程 4 1.4. 标准主要起草人及其所做的工作 4 2. 标准编制原则和确定标准主要内容的论据 5 2.1. 第1章 范围 5 2.2. 第2章 规范性引用文件 5 2.3. 第3章 术语和定义 6 2.4. 第4章 方法提要 6 2.5. 第5章 仪器设备 6 2.6. 第6章 干扰因素 8 2.7. 第7章 测试步骤 9 3. 主要试验或验证的分析、综述 11 4. 与我国有关的现行法律、法规和相关强制性标准的关系 11 5. 重大分歧意见的处理经过和依据 11 6. 标准作为强制性标准或推荐性标准、指导性技术文件的建议及其理由；密级确定的建议及其理由 11 7. 贯彻标准的要求和措施建议 12 8. 代替或废止现行有关标准的建议 12 9. 参考文献目录 12  工作简况 任务来源 氮化镓材料被誉为是第三代半导体材料，在微电子器件、光电子器件等方面拥有广阔的应用前景。氮化镓单晶材料是氮化镓生长的最理想的衬底，对提高外延膜的晶体质量，降低位错密度，提高器件效率，延长工作寿命，在LED、激光器等方面拥有不可替代的作用。 氮化镓单晶材料的总重要的性能指标之一就是结晶质量，而高分辨x射线衍射仪摇摆曲线半高宽测试具有快速、无损、精度高等优点，是表征氮化镓单晶结晶质量的必要方法。编制本方法有助于产品质量的评估，对产业的健康发展及半导体材料的标准化工作可起到重要的促进作用。 在苏州工业园区政府的推动下，本标准《氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法》在2011年提出立项申请，2012年9月正式立项，立项批准号为-469，归口全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会。标准起草单位为：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司。 编制和协作单位 参与本标准编制的主要单位有：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所（简称中科院苏州纳米所），苏州纳维科技有限公司（简称纳维公司），中国科学院物理研究所（简称中科院物理所），北京天科合达蓝光半导体有限公司。 本标准中的供实验验证的氮化镓单晶衬底片由纳维公司提供。 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所（以下简称中科院苏州纳米所）由中国科学院与江苏省人民政府、苏州市人民政府和苏州工业园区共同出资创建，位于苏州工业园区独墅湖科教创新区内。根据中国科学院调整科技布局的规划，面向国际科技前沿、国家战略需求与未来产业发展，开展相关领域基础性、战略性、前瞻性研究。建设公共技术平台，为我国现代制造业与高新技术产业发展不断提供新的知识与技术，发挥国家研究机构的骨干与引领作用。其测试分析平台是一个开放、资源共享的公共服务平台，拥有布局合理、技术先进的大型科学仪器设备资源和信息共享系统，为研究所、高校和周边企业的开发研究工作提供测试分析服务。目前平台已获批准成为江苏省纳米测试分析平台、苏州市纳米测试分析平台、江苏省纳米测试分析创新服务平台，并与纳米加工平台一起获批为“江苏省纳米技术产业产学研联合创新服务平台”。目前测试分析平台有多套原子力显微镜设备，并为多家氮化镓相关的公司提供检测服务，在氮化镓材料表面检测方面有丰富的经验结论。 苏州纳维科技有限公司（以下简称纳维公司）创立于2007年，以中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所为技术依托，立足于设备的自主研发，专注于从事高质量、大尺寸氮化物材料的生长与产品开发，为产业界和研发机构提供各类氮化镓材料，目前公司拥有核心技术专利三十余项，是中国首家氮化镓衬底晶片供应商，努力在新一代显示、节能照明、微波通讯、电力电子、医学成像等产业领域为下游客户带来核心价值。目前公司针对企业、高校和研究所的不同用户，可提供不同规格的GaN厚膜衬底和氮化镓自支撑衬底材料。 主要工作过程 2011年 国家标准化委员会提出立项申请 2012年9月 准制订计划在国家标准化管理委员会正式立项 2012年10月 组建标准起草工作组，制订了标准制(修)订项目落实任务书。 2012年11月-4月，编写标准草稿 2013年4月9日 参加全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会常州会议，会上对第一稿进行了评审并提出了多项意见。 2013年5月-10月 根据修改意见对标准草稿进行了修改，对标准中具体实验参数、方法进行了实验研究，对结果的重复性进行了验证，形成标准征求意见稿，征求专家意见。 2013年11月 参加全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会成都会议，会上对送审稿进行了评审。 2014年11月-2014年5月 根据反馈意见，修改完成终审稿，并报送全国半导