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- 2017-09-09 发布于天津
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第卷第期天津大学学报年月含参考光路的时间差法动态调焦式光学测头樊玉铭张国雄高翔裘祖荣郭敬滨张宏伟李智赵树忠国家精密测试技术与仪器重点实验室天津大学天津摘要为了满足对机械件光学件和电子件等几何形貌质量控制和产品监测越来越高的要求在动态主动调焦法测量原理的基础上提出一种含参考光路的时间差法动态调焦式光学测头的检测方法论述了该测头通过测量参考光路和测量光路的时间差实现位移测量的测量原理及其结构并对这种新的测量方法进行了详细的误差分析对该光学测头及其测量系统进行了各项实验实验表明含参考光路的时间差法动态
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含参考光路的时间差法动态调焦式光学测头!
樊玉铭，张国雄，高! 翔，裘祖荣，郭敬滨，张宏伟，
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