感器与检测技术 第四章电容传感器2012.pptVIP

主要内容： 4.1 传感器的工作原理及类型 4.2 电容传感器的灵敏度及非线性 4.3 电容传感器的特性及等效电路 4.4 电容传感器的设计要点 4.5 电容式传感器的转换电路 4.6 电容式传感器的应用举例 本章要点;;概述;;电容式传感器典型应用;4.1 电容式传感器的工作原理及类型;C —— 电容量，单位：F 法拉;变换原理:将被测量的变化转化为电容量变化;变极距型传感器;变面积型传感器;;一、变极距型电容传感器;结论： ① 欲提高灵敏度，应减小间隙d，但受电容器击 穿电压的限制； ② 非线性随相对位移的增加而增加，为保证一 定的线性度，应限制动极板的相对位移量。 Δd/d=0.02~0.1 ③为改善非线性，可以采用差动式。;4.1 电容式传感器的工作原理及类型;4.1 电容式传感器的工作原理及类型;4.1 电容式传感器的工作原理及类型;4.1 电容式传感器的工作原理及类型;4.1 电容式传感器的工作原理及类型;4.1 电容式传感器的工作原理及类型;4.1 电容式传感器的工作原理及类型;三、变介电常数型电容传感器;电容式液位传感器;4.1 电容式传感器的工作原理及类型;4.2 电容传感器的灵敏度及非线性;;可见灵敏度非常数； 为了保证一定的线性度，应限制动极板的位移量。通常规定测量范围 △d d0，此时，传感器的灵敏度近似为常数。 在实际应用中, 为了提高灵敏度、减小非线性误差, 大都采用差动式结构。;差动平板式电容传感器;4.3.1 电容传感器的特点 ;图中C为传感器电容；RP为低频损耗并联电阻，它包含极板间漏电和介质损耗；R为高频、高温、高频激励工作时的串联损耗电阻，它包含导线、极板间和金属支座等损耗电阻；L为电容器及引线电感；CP为寄生电容克服其影响是提高电容传感器实用性能的关键之一。; 可见在实际应用中，特别在高频激励时，尤需要考虑L的存在，会使传感器有效电容改变，从而引起传感器有效灵敏度的改变。在这种情况下，每当改变激励频率或者更换传输电缆时都必须对测量系统重新进行标定。 ;所以，电容传感器测量必须在同样条件下进行。 改变电源频率、更换电缆，必须重新标定。;4.4 电容传感器的设计要点; 4.4.3消除和减小寄生电容的影响 寄生电容与传感器电容相关联，影响传感器的灵 敏度，而它的变化则为虚假信号影响仪器的精度，必须消除和减小它。 ;消除和减小寄生电容可采用如下方法： 增加原始电容值可减小寄生电容的影响。 注意传感器的接地和屏蔽。 将传感器与电子线路的前置级(集成化)装在一个壳体内， 省去传感器至前置级的电缆。 采用“驱动电缆”技术(也称“双层屏蔽等位传输”技术)。如图4-7 采用运算放大器法； 整体屏蔽法。;4.4 电容传感器的设计要点;4.5 电容式传感器的转换电路 ;4.5.1 调制型电路;特点： 转换电路生成频率信号，可远距离传输不受干扰。 具有较高的灵敏度，可以测量高至0.01μm级位移变化量。 但非线性较差，可通过鉴频器（频压转换）转化为电压信号后，进行补偿。 ;二、调幅电路;一次侧通过互感在二次侧产生的感生电动势;带入上式可得：;取;4.5 电容式传感器的转换电路;2.交流电桥法;图4-13(h)形式的电桥(变压器式电桥)，使用元件最少，桥路内阻最小，因此目前较多采用。该电桥两臂是电源变压器二次线圈。设感应电动势为E，另一两臂为传感器的两个电容，容抗分别为Z1=1/jωCx1和Z2=1/jωCx2 ，假设电桥所接的放大器的输入阻抗即本电桥的负载为RL，则电桥输出为;图4-13(h)形式的电桥(变压器式电桥)，使用元件最少，桥路内阻最小，因此目前较多采用。该电桥两臂是电源变压器二次线圈。设感应电动势为E，另一两臂为传感器的两个电容，容抗分别为Z1=1/jωCx1和Z2=1/jωCx2 ，假设电桥所接的放大器的输入阻抗即本电桥的负载为RL，则电桥输出为;由于电桥输出电压与电源电压成比例，因此要求电源电压波动极小，需采用稳幅、稳频等措施； 传感器必须工作在平衡位置附近，否则电桥非线性将增大； 接有电容传感器的交流电桥输出阻抗很高(一般达几兆欧至几十兆欧)，输出电压幅值又小，所以必须后接高输入阻抗放大器将信号放大后才能测量。;4.5 电容式传感器的转换电路;*;4.5.2 脉冲型电路;;4.5 电容式传感器的转换电路; 若传感器输入不为 0, 则C1 ≠ C2, 那么I1≠I2, 此时RL上必定有信号输出, 其输出在一个周期内的平均值为;4.5 电容式传感器的转换电路;4.5 电容式传感器