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【2017年整理】1_5万t_a三氯氢硅生产装置研究
第 46卷 第 6 氯 碱 工 业 Vo.l 46, o. 6
2010年 6月 ChlorAlkali Industry Jun., 2010
1. 5 t/ a
* 1 2
董前程 ,孟德州
( 1. 江西景德半导体新材料有限公司, 江西景德镇 333000;
2. 河北金牛化工股份有限公司, 河北 沧州 061001)
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[ ] 1. 5 t/a,
[] TQ127. 2 [ ] A [] 1008- 133X( 2010) 06- 0031- 03
S tudy on p roduction fa cility of 15 k t/ a trich loro silane
1 2
DON G Qiancheng , M EN G D ezhou
( 1. Jiangxi Jingde ew Sem iconductorM aterials Co. , Ltd. , Jingdezhen 333000, China;
2. H ebei Jinniu Chem ical Industry Co., Ltd., Changzhou 061001, China)
K ey w ord s: trichlorosilane; production facility; study report
A bstrac t: The production facility of 15 kt/a trichlorosilane is studied, including the development
background, production process, flow path, m atters needing attention, consumption ofmaterialand pow
er, safety and environmentalprotection, etc.
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