Marc60-D-ⅢA激光干涉仪说明书（2015、04）-南京英特飞光电技术有限.docVIP

 Marc60-D-ⅢA激光干涉仪 使 用 说 明 书 南京英特飞光电技术有限公司 2015年4月 目 录 一、干涉仪安装与环境条件要求………………………………… （2） 二、仪器主要技术指标…………………………………………… （3） 三、仪器简介……………………………………………………… （3） 四、仪器主要用途………………………………………………… （4） 五、标准透镜选取原则…………………………………………… （5） 六、仪器操作使用………………………………………………… （6） 七、测试结果分析………………………………………………… （8） 八、常见故障排除………………………………………………… （8） 九、注意事项……………………………………………………… （9） 十、联系方式……………………………………………………… （9） 十一、附图：测试工装加工图纸 …………………………………(10) 友情提醒：本仪器说明书内容为Marc60-D-ⅢA型干涉仪的使用及安装说明。请用户安装和使用本干涉仪前仔细阅读说明书。 一、干涉仪安装与环境条件要求 1．整机及配件 Marc60-D-ⅢA激光干涉仪整机装箱应包括：干涉仪主机、液晶显示器(含电源)、电源变换器（220V交流-12V直流）、视频连接线、说明书及装箱单。选配件（标准镜头、干涉图拷贝打印系统等）在装箱单上另行列明。 2．干涉仪安装和显示器的连接： 干涉仪右侧面板接线位置见图1 开箱后将干涉仪安放在适合的工作台上后，首先卸去干涉仪立柱上的两个固定螺丝（运输时用于固定内部配重块），使干涉仪上的工作平台可以沿导轨上、下移动。显示器开箱后将显示器座扳到合适的角度位置放置在干涉仪旁。 连接干涉仪主机上的电源：将干涉仪用的直流电源变换器12V输出端插入干涉仪右下方“12V输入”插孔内，另一端插到220V交流电源。 干涉仪与液晶显示器的连接：视频线的一头插到显示器下方左侧第一个插孔内，另一端插到干涉仪右下方的“视频信号输出”插孔内。 3、开机：依次打开干涉仪右下方的“电源开关”和显示器的“电源按钮”（位于显示器下方右侧第一个按钮）。此时干涉仪主机上应有红色激光射出（请勿用眼睛直接观看，以免灼伤眼睛），显示器应有显示。 图1 干涉仪右侧接线位置图 4．干涉仪对环境条件要求 Marc60-D-ⅢA激光干涉仪要求安放在平整、稳定的桌面上，周围无振动源。在测量使用时，室内应处于恒温状态下，室内恒温应保持20℃±3℃，温度梯度≯1℃/h；相对湿度≯60%。 警告：激光危险，禁止用眼睛直接观察 二、仪器主要技术指标 本干涉仪技术指标符合南京英特飞光电技术有限公司企业标准Q/3202 YTF001-2015 1．仪器口径：φ60mm 2．仪器光源：Marc60-D-ⅢA为半导体激光器，λ=635nm 3．仪器精度：λ/20（平面），λ/10（球面） 4．调节范围：Z轴的有效行程为500mm 调整架调整 X/ Y轴为（＋/－ 8mm） 5．外形尺寸：Marc60-D-ⅢA 500（长）×300（宽）×920（高）mm 重77KG 6．输 出：标准视频信号（可为图像采集卡直接接收） 7．光路切换：调整（十字叉丝）与测试（干涉图）之间为电控切换 8．图像接收：CCD摄像机 9．螺纹接口：M104×1 干涉仪附带一个供调试干涉仪时用的测试工装。客户可根据本说明书后附录图纸加工合适自己的工装使用。 10．电 源：220V / 50Hz 11．标准镜头（供用户选购）： （1）标准平面镜（λ/20）：Φ60mm （2）标准镜头（λ/10）：F0.6、F0.7、F1.0、F1.5、F2.0、F2.8、F5.0、F8.0 三、仪器简介 1．仪器特点 干涉仪立式倒置斐索型干涉仪。其结构紧凑、操作方便、仪器自带隔振器，在加工现场使用时能够取得较好的效果；测量时摆放工件方便，使测量迅速、快捷，特别适于在线测量。 导轨有效行程500mm，可以基本满足常规中小球面光学零件的测量范围。 由于仪器采用切换按钮转换“对点”状态和“测试”状态，使得仪器在测量时易于调整，即使对干涉仪不甚熟悉的人员，亦可以很快调整出干涉图形。 另外，仪器如另选配置“二维调整架”便可以进行平面光学镜片的测试。也可以配置光栅测长系统进行球面曲率半径的测量。 2．仪器外形结构图如图2 图2 Marc60-D-ⅢA激光干涉仪 四、仪器主要用途 1．检测平面零件面形误差和局部误差 将标准平面镜装入仪器上后，可对平面零件面形误差和局部误差进行检测。 2．检测球面零件面形误差和局部误差 装入不同F数的标准镜头，可测量不同曲率半径和口径的球面零件的面形局部误差。当采用与被测球面参数相同，高质量面形误差的标准球面作参