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29 4 电子工业专用设备 2000 12
Vol29 ∀ 4 ! ! ! ! ! ! Equipmen for Elec ronic Produc s M anufac uring ! ! ! ! December 2000
: 1004- 4507( 2000) 04- 0019- 07
江素华, 谢进,王家楫
( 复旦大学国家微分析中心, 上海 200433)
! : 聚焦离子束( FIB) 技术是90 年代发展起来的具有微细加工和微分析组合功
能的新技术随着 成电路线宽的不断减小, 成度不断提高, 该技术已在微电子工
业中被广泛应用, 其优势也日益显现文中主要对F IB 系统的构成作较为详尽的介
绍, 同时也涉及该技术的应用和发展
: 微分析; 微加工; 聚焦离子束
: T N 307; T N40598 : A
A New Method for Microanalysis and Micromachining
Focused Ion Beam System
J IA N G Su- hua, X IE Jin, WA N G Jia- ji
( N a ional M icroanalysis Cen er, Fudan U niversi y, Shanghai 2004 33, China)
Abstract:F ocused Ion Beam( F IB) is an advanced echnology for failure analysis and de
vice modif ica ionI has been widely accep ed in he semiconduc or indus ryAs he in
egra ion densi y of IC is con inuously increasing, he advan ages of FIB become more
and more obvious T he paper presen s he de ailed in roduc ion of FIB device, a he
same ime, i s applica ion and developmen are also involved
Keywords:M icroanalysis; Micromachining; F IB.
!
20 , ,
! ! ,
: 2000 10 20 ; ! : 2000 - 11- 08
: ( 1976 , ) , , 99 ,
19
Vol29 ∀ 4! ! ! ! ! ! ! Equipmen for Elec ronic Produc s M anuf ac uring ! ! ! ! ! ! December 2000
, , ( SEM) ( T EM )
,
,
IC 1 F IB ,
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