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  • 2017-09-10 发布于浙江
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第8章透射电子显微镜

第 八 章 透 射 电 子 显 微 镜 简 介 透射电镜示意图 8.1 透射电子显微镜的结构 如图所示。它分为三部分,即照明系统、成像系统和观察记录系统。 一:照明系统 照明系统由电子枪、聚光镜和相应的平移对中、倾斜调节装置组成。其作用是提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明源。为满足明场和暗场成像需要,照明束可在20—30范围内倾斜。 (1) 电子枪 电子枪是透射电子显微镜的电子源。常用的是热阴极栅极电子枪,它由发夹形钨丝阴极、栅极帽和阳极组成.如图所示。 (2) 聚光镜 聚光镜用来会聚电子枪射出的电子束,以最小的损失照明样品。调节照明强度、孔径角和束斑大小。一般都采用双聚光镜系统,如图所示。 (3 ) 作用 对透射电镜和扫描电镜来说,电子光源系统的作用有所不同。对透射电镜来说,照明系统由电子枪、聚光镜和相应的平移对中、倾斜调节装置组成。 其作用: 提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度好、束 流稳定的照明源; 照明束可在20-30范围内倾斜; 照明束可在一定的范围内平移。 二:成像系统 成像系统主要是由物镜、中间镜和投影镜组成。 (1) 物镜 物镜是用来形成第一幅高分辨率电子显微图像或电子衍射花样的透镜。透射电子显微镜分辨本领的高低主

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