第五篇 电子能谱分析法.pdf

吉 首 大 学 物 理 与 机 电 工 程 学 院 JiShou University College of Physics ，Mechanical and Electrical Engineering 第五章 电子能谱分析法  X射线光电子能谱分析(XPS)  俄歇电子能谱分析（AES ） 吉 首 大 学 物 理 与 机 电 工 程 学 院 JiShou University College of Physics ，Mechanical and Electrical Engineering 什么是电子能谱分析法？ 电子能谱分析法是采用单色光源 （如X射线、紫 外光）或电子束去照射样品，使样品中电子受到 激发而发射出来 （这些自由电子带有样品表面信 息），然后测量这些电子的产额 （强度）对其能 量的分布，从中获得有关信息的一类分析方法。 X射线光电子能谱（XPS ） 紫外光电子能谱（UPS） 俄歇电子能谱(AES) 吉 首 大 学 物 理 与 机 电 工 程 学 院 JiShou University College of Physics ，Mechanical and Electrical Engineering 5.1 X射线光电子能谱 X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) • XPS是重要的表面分析技术之一，是 由瑞典Kai M. Siegbahn教授领导的研究 小组创立的，并于1954年研制出世界上 第一台光电子能谱仪，1981 年，研制出 高分辨率电子能谱仪。他在1981年获得 了诺贝尔物理学奖。 Kai M. Siegbahn 吉 首 大 学 物 理 与 机 电 工 程 学 院 JiShou University College of Physics ，Mechanical and Electrical Engineering 5.1.1 基本原理及特点 1．固体表面的激发与检测 X射线光电子能谱 （XPS ）：激发源为X射线，用X射线 作用于样品表面，产生光电子。通过分析光电子的能量分布 得到光电子能谱。用于研究样品表面组成和结构。又称为化 学分析光电子能谱法 （ESCA）。 紫外光电子能谱 （UPS ）：激发源为紫外光，只能激发 原子的价电子，用于量子化学研究。 俄歇电子能谱(AES)：激发源为电子束，用于表面成分的 快速分析。 吉 首 大 学 物 理 与 机 电 工 程 学 院 JiShou University College of Physics ，Mechanical and Electrical Engineering 2. 电子的结合能与光电效应  费米能级：0K时固体能带 中电子占据的最高能级。  电子的结合能：原子中某 个电子吸收了光子的能量 后，跃迁至原子的费米能 级所消耗的能量。  样品的功函数W ：处于费 s 米能级的电子克服样品晶 格的引力离开样品表面进 入真空成为静止电子所消 耗的能量。 吉 首 大 学 物 理 与 机 电 工 程 学 院 JiShou University