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碳化硅多型的会聚束电子衍射CBED研究-JournalofNortheastern
1997年 12 月 东 北 大 学 学 报 ( 自 然 科 学 版 ) Dec.1 9 9 7
第18卷第6期 Journal of Northeastern University (Natural Science ) Vol.18, No.6
(CBED)
②
于 青① 肖序刚
(, 110006) (, 110006)
(CBED)
, OLZ , 6 4
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(CBED).
(CBED), OLZ , , .
O 722, O 711.3
Si C, c
, c .
[1]
SiC-15R, SiC-6 , SiC-4 , SiC-21R, SiC-33R SiC-5R 6 ,
5 4 4 5 5
C -R , C -P , C -P , C -R C -R c
3v 3m 3v 3m 6v 6 mc 3v 3m 3v 3m
3
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[1]
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1
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(OLZ)CBED , .
, OLZ , , 2/10000[2, 3, 6] .
X , n 3n R
[4, 5]
.CBED ,
OLZ . OLZ
[7, 8] ＊
, OLZ G [uv w ]H :
1997-04-10 . ① , 33, ;② , 67, .
.
第6 期 于 青等:碳化硅多型的会聚束电子 射(CBED)研究 603
＊ λ
H = G (1)
2
:
＊ λ G′2
H = · .1 (2)
2 L λ
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, [0 0 0 1], G ′
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＊ ＊
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