激光化学气相沉积石墨烯聚焦光斑测量研究-激光与红外.PDF

第４７卷　 第４期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４７，Ｎｏ．４ 　 ２０１７年４月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ａｐｒｉｌ，２０１７ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１７）０４０４３７０６ ·激光应用技术 · 激光化学气相沉积石墨烯聚焦光斑测量研究 刘婷婷，张建寰，林　坤，李珊文 （厦门大学航空航天学院，福建 厦门３６１００５） 摘　要：激光化学气相沉积（ＬａｓｅｒＣｈｅｍｉｃａｌＶａｐｏｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ，ＬＣＶＤ）石墨烯制备受聚焦光斑影 响很大。实时检测光斑，可实现石墨烯ＬＣＶＤ法可控制备。设计聚焦光斑测量光学系统，提出 一种基于圆拟合的改进算法检测光斑中心和半径，计算、标定光斑面积。该方法在圆拟合基础 上加入了二值化、形态学处理及连通性判别等预处理方法。实验表明，该方法测得圆心位置与 －９ ２ 真值误差平均为５５８ｐｉｘｅｌ，光斑面积与真值误差平均为１９３×１０ ｍ，优于传统的重心法和 霍夫检测法，具有较快的计算速度和检测精度，可实现ＬＣＶＤ法制备石墨烯实验中聚焦光斑的 非接触式测量，且对其他激光加工工艺的质量控制有借鉴意义。 关键词：激光化学；圆拟合；聚焦光斑；石墨烯 中图分类号：Ｏ６４４１８；ＴＰ３９１４１　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０３９６９／ｊｉｓｓｎ１００１５０７８２０１７０４００９ Ｆｏｃｕｓｆａｃｕｌａｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｉｎｇｒａｐｈｅｎｅｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ ｂｙｌａｓｅｒｃｈｅｍｉｃａｌｖａｐｏｒｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ＬＩＵＴｉｎｇｔｉｎｇ，ＺＨＡＮＧＪｉａｎｈｕａｎ，ＬＩＮＫｕｎ，ＬＩＳｈａｎｗｅｎ （ＳｃｈｏｏｌｏｆＡｅｒｏｎａｕｔｉｃｓａｎｄＡｓｔｒｏｎａｕｔｉｃｓ，ＸｉａｍｅｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｘｉａｍｅｎ３６１００５，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎｏｆｇｒａｐｈｅｎｅｂｙｌａｓｅｒｃｈｅｍｉｃａｌｖａｐｏｒｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ（ＬＣＶＤ）ｉｓｈｉｇｈｌｙａｆｆｅｃｔｅｄｂｙｔｈｅｆｏｃａｌｓｐｏｔ． ＲｅａｌｔｉｍｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｏｆｌｉｇｈｔｓｐｏｔｃａｎｂｅｒｅａｌｉｚｅｄｃｏｎｔｒｏｌｌａｂｌｅｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎｏｆｇｒａｐｈｅｎｅｂｙＬＣＶＤｍｅｔｈｏｄ．Ｔｈｅｍｅａｓ ｕｒｉｎｇｏｐｔｉｃａｌｓｙｓｔｅｍｏｆｆｏｃａｌｆａｃｕｌａｗａｓｄｅｓｉｇｎｅｄ，ａｎｄａｎｉｍｐｒｏｖｅｄｍｅｔｈｏｄｂａｓｅｄｏｎｃｉｒｃｌｅｆｉｔｔｉｎｇｍｅｔｈｏｄｗａｓｐｒｅｓｅｎ ｔｅｄｔｏｄｅｔｅｃｔｃｅｎｔｅｒａｎｄｒａｄｉｕｓｏｆｆｏｃａｌｓｐｏｔ，ｔｈｅｎｆｏｃａｌｓｐｏｔａｒｅａｗａｓｃａｌｃｕｌａｔｅｄａｎｄｃａｌｉｂｒａｔｅｄ．Ｔｈｉｓｍｅｔｈｏｄｉｎｔｒｏ ｄｕｃｅｓｓｏｍｅｐｒｅｔｒｅａｔｍｅｎｔｍｅｔｈｏｄｓ，ｓｕｃｈａｓｂｉｎａｒｙｚａｔｉｏｎ，ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ，ｃｏｎｎｅｃｔｉｖｉｔｙｄｉｓｃｒｉｍｉｎａｔｉｏｎ．Ｅｘｐｅｒｉ ｍｅｎｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｄｃｅｎｔｅｒｐｏｓｉｔｉｏｎｈａｓａｖｅｒａｇｅｅｒｒｏｒｏｆ５．５８ｐｉｘｅｌｗｉｔｈｔｒｕｅｖａｌｕｅ，ｓｐｏｔａｒｅａｈａｓａｖｅｒａｇｅｅｒ ｒｏｒｏｆｗｉｔｈｔｒｕｅｖａｌｕｅ．ＩｔｉｓｂｅｔｔｅｒｔｈａｎｔｈｅｔｒａｄｉｔｉｏｎａｌｇｒａｖｉｔｙｍｅｔｈｏｄａｎｄＨｏｕｇｈａｌｇｏｒｉｔｈｍａｎｄｈａｓｆａｓｔｅｒｃｏｍｐｕｔｉｎｇ ｓｐｅｅｄａｎｄｐｒｅ