精品第九章 半导体传感器.ppt

第9 章 半导体传感器 9.2 湿 敏 传 感 器 9.3色 敏 传 感 器 9.4 半导体式传感器的应用 2. 半导体色敏传感器工作原理 在图9 - 10中所表示的P＋-N-P不是晶体管, 而是结深不同的两个P-N结二极管, 浅结的二极管是P＋-N结; 深结的二极管是P-N结。 当有入射光照射时, P＋、N、P三个区域及其间的势垒区中都有光子吸收, 但效果不同。如上所述, 紫外光部分吸收系数大, 经过很短距离已基本吸收完毕。在此, 浅结的即是光电二极管对紫外光的灵敏度高, 而红外部分吸收系数较小, 这类波长的光子则主要在深结区被吸收。 因此, 深结的那只光电二极管对红外光的灵敏度较高。 这就是说, 在半导体中不同的区域对不同的波长分别具有不同的灵敏度。这一特性给我们提供了将这种器件用于颜色识别的可能性, 也就是可以用来测量入射光的波长。将两只结深不同的光电二极管组合, 图 9 - 14硅色敏管中VD１和VD２的光谱响应曲线就构成了可以测定波长的半导体色敏传感器。 在具体应用时, 应先对该色敏器件进行标定。也就是说，测定不同波长的光照射下, 该器件中两只光电二极管短路电流的比值ＩSD2／ＩSD1, ＩSD1是浅结二极管的短路电流, 它在短波区较大。 ＩSD2是深结二极管的短路电流, 它在长波区较大, 因而二者的比值与入射单色光波长的关系就可以确定。根据标定的曲线, 实测出某一单色光时的短路电流比值, 即可确定该单色光的波长。  图9 - 14表示了不同结深二极管的光谱响应曲线。 图中VD１代表浅结二极管,VD２代表深结二极管。 二、 半导体色敏传感器的基本特征 1. 光谱特性 半导体色敏器件的光谱特性是表示它所能检测的波长范围, 不同型号之间略有差别。 图9 - 15（a）给出了国产CS—１型半导体色敏器件的光谱特性, 其波长范围是400~1000 nm。 2. 短路电流比—波长特性 短路电流比—波长特性是表征半导体色敏器件对波长的识别能力, 是赖以确定被测波长的基本特性。图9 - 15（b）表示上述CS-１型半导体色敏器件的短路电流比—波长特性曲线。  3. 温度特性 由于半导体色敏器件测定的是两只光电二极管短路电流之比, 而这两只光电二极管是做在同一块材料上的, 具有相同的温度系数, 这种内部补偿作用使半导体色敏器件的短路电流比对温度不十分敏感, 所以通常可不考虑温度的影响。 一、 实用酒精测试仪 图9 - 16 所示为实用酒精测试仪的电路。 该测试仪只要被试者向传感器吹一口气, 便可显示出醉酒的程度, 确定被试者是否还适宜驾驶车辆。 气体传感器选用二氧化锡气敏元件。  当气体传感器探测不到酒精时, 加在A5脚的电平为低电平; 当气体传感器探测到酒精时, 其内阻变低, 从而使A5脚电平变高。 A为显示推动器, 它共有10个输出端, 每个输出端可以驱动一个发光二极管, 显示推动器A根据第5脚电压高低来确定依次点亮发光二极管的级数, 酒精含量越高则点亮二极管的级数越大。上5个发光二极管为红色, 表示超过安全水平。下5个发光二极管为绿色, 代表安全水平, 酒精含量不超过0.05%。 第9章 半导体传感器 返回主目录 ? 9.1 气 敏 传 感 器 用半导体气敏元件组成的气敏传感器主要用于工业上天然气、煤气、石油化工等部门的易燃、易爆、有毒、有害气体的监测、预报和自动控制, 气敏元件是以化学物质的成分为检测参数的化学敏感元件。  一、 气敏电阻的工作原理 气敏电阻的材料是金属氧化物, 在合成材料时, 通过化学计量比的偏离和杂质缺陷制成, 金属氧化物半导体分N型半导体, 如氧化锡、氧化铁、氧化锌、氧化钨等,P型半导体, 如氧化钴、 氧化铅、氧化铜、氧化镍等。为了提高某种气敏元件对某些气体成分的选择性和灵敏度, 合成材料有时还渗入了催化剂, 如钯（Pd）、铂（Pt）、银（Ag）等。 金属氧化物在常温下是绝缘的, 制成半导体后却显示气敏特性。通常器件工作在空气中, 空气中的氧和NO2 这样的电子兼容性大的气体, 接受来自半导体材料的电子而吸附负电荷, 结果使N型半导体材料的表面空间电荷层区域的传导电子减少, 使表面电导减小, 从而使器件处于高阻状态。一旦元件与被测还原性气体接触, 就会与吸附的氧起反应