日立S4800电镜操作与原理.pdf

S-4800FESEM的原理及操作 一. S-4800FESEM的原理 二. S-4800FESEM的操作 报告人：王琴 陈惠锋 中科院宁波材料所公共平台 2009-09-25 一. S-4800FESEM的原理 电子枪 电子光学系统 真空系统 真空泵 成像系统 阳极 聚光器镜头 监视器 电子束 偏转增幅器 偏转线圈 偏转线圈 物镜 二次电子 检测器 样品 样品室 增幅器 二次电子 真空泵 扫描电镜结构示意图 电子激发样品可获得的各种信号 电子束 X射线 (～30kV) (元素信息) 背散射电子 (凹凸·成份信息) 二次电子(样品的表面信息) 荧光 (化学结合状态信息) 俄歇电子（表层的元素信息） 10nm以内 (二次电子逸出深度) 电子散射区域 样品 样品吸收电流 二次电子SE 二次电子是指被入射电子轰击出来的核外电子。携 带有样品的表面形貌信息,通常来自样品表面5-50 nm的 区域，能量为0-50 eV。 由于它发自试样表面层，入射电子还没有较多次散 射，因此产生二次电子的面积与入射电子的照射面积没 多大区别。所以二次电子的分辨率较高，一般可达到50- 100 Å 。 扫描电子显微镜的分辨率通常就是二次电子分辨 率。二次电子产额随原于序数的变化不明显，它主要取 决于表面形貌。 背散射电子BSE 背散射电子是指被固体样品中的原子核反弹回来的一 部分入射电子。包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子. 从数量上看，弹性背散射电子远比非弹性背散射电子所占 的份额多。背散射电子能量在数千到数万电子伏。 背散射电子的产生范围在1000 Å到1 μm深，由于背散 射电子的产额随原子序数的增加而增加