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炭材料惰性涂层方法分析的知识.pdf

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14 3 Vol. 14 No.3 1999 9 NEW CA BON M AT E IALSSep. 1999 1007-8827( 1999)03-0063-06 传秀云, 李贺军,  曾燮榕,  刘应楼 ( , 710072) :, , , / CVD : ;; + : T Q 127. 1 1: A 1 : CVD / ,;CVD , / ,, , ; , 2 000 ,; , , ( PVD) ( CVD ) ;- , ; ,400 2 , [ 1] 2. 1 , , , ( ) ( ) , , , , 2. 1. 1[2] , ,, , , : 1998-09-30; : 1999-02-04 : ( 1965-) , , , , , 64 14 , , , , SiC , 1 600 2 000 C/ C SiC ,, ,100 , , 2 ; Si Lm SiO , 1 300 1 500 / , 1 000 C C , BN, : , , ,, SiC , :, ,300 , 1 400 1 600 , ,- C/ C 1 400 20 , h [3] [6] 2. 1.2 0. 60 % ; T i Th Mo Zr Ni

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