针对MEMS技术的微型电场传感器设计及实验的分析研究.pdfVIP

摘要 基于MEMS技术的微型电场传感器设计及实验研究 摘要 电场与人类的生产生活活动息息相关。为了测量各种电场参数，人们进行了 深入的研究，发明了多种电场传感器。但是用于静电场测量的微型电场传感器至 今未见报道。本文提出了一种新颖的电场传感器设计方案，其优点是体积小、易 批量加工，可以应用于空间、大气、地面等多种环境下的静电场或低频电场的测 量。 本传感器基于微机电系统(MEMS)技术和传感技术，利用半导体加工工艺在 硅基底上制作。作者通过运用电动力学的相关理论进行分析计算，并运用 ANSYS6．0软件进行计算机模拟仿真，结果表明此方案是可行的。作者完成了传 感器结构设计和工艺设计，进行了工艺试验，研制出雏形样品。 关键词：微型，电场传感器，微机电系统 AbstracC field A sensorbasedon novelminiatureelectric MEMS technique Abstract aclose with lifeand Electricfieldhas daily relationshippeople’s production workon have kinds a dealof invented havedone it，and many great processes．People field miniatureEFSfor staticelectric ofelectric measuring sensors(EFS)．But,the not tothis this theauthor field has been up day．Inpaper proposes accurately reported carl is andcanbe inbatch。Itbe fl miniatureEFS．which novel tiny produced applied outer andon fieldin tomeasurethe ofelectric ground． intensity space，inatmosphere electromechanic