ESD防护和消除介绍.ppt

InnoLux 環境預防 濕度控制及增加導電率: 有許多的絕緣物質，例如紡織品、木材、紙張、混凝土等， 皆會受到周圍空氣之濕度而影響其濕氣含量，當這些絕緣物質 表面含有之濕氣越高時，其導電率亦會越高。 以玻璃為例，50%相對濕度時的導電率為20%相對濕度時的1000倍。 通常在30%相對濕度以上時，大部份的絕緣體上所含有 的一層水份薄膜，可以提供靜電荷一個疏通路徑。 但當相對濕度在30%以下時，此水份薄膜不存在， 靜電荷一直產生但無法疏通，靜電問題便會出現。 因此在產品可容忍高濕度的地方， 濕度控制為一有效解決靜電問題的方法。 InnoLux 環境預防 濕度控制及增加導電率: 增加局部地區的濕氣可使用蒸氣噴出的方式達成 (加濕器)，如此 較不會使整個區域的相對濕度皆大幅度地提高。 但是多大的相對濕度才能有效的解決靜電問題，則依環境及製程而異， 事實上亦很難決定其大小。一般而言，在常溫下，60-70%的相對濕度應可避免靜電問題的發生。 不過高濕度會影響產品、製程、及舒適度。故在考量各種條件下， 一般LCM廠所用之濕度為 55% ~ 70% 。 PS.有些絕緣物，例如合成塑膠及部份石化液體之表面導電率受濕度 之影響並不大，亦不適宜使用濕度控制法。 InnoLux 環境預防 濕度控制及增加導電率: 除了增加相對濕度以增加絕緣物之導電率外，亦可直接在絕緣物中 摻入導電性物質，以提高洩漏電荷之能力。例如在化纖衣物中 織入金屬纖維，在橡膠中加入碳粉皆可增加導電率，其導電率 依照加入雜質之多寡可隨意控制，通常1M?-cm之電阻係數即已足夠。 不過直接在絕緣物中加入其他成份之物質，必須以不影響絕緣物之功能為前題。 此外，對絕緣物體表面進行浸泡或噴灑吸水或導電性物質亦可增加其導電率，但皆需定期更新方可維持效果。 PS.以LCM/Cell製程之 Panel清洗機為例，就以水中加入 CO2之方式 來降低水的電阻值。 InnoLux 環境預防 靜電消除器: 靜電消除器是利用人為的方法把帶電體附近的空氣離子化，當帶電體 碰到這些離子時，靜電荷可經由已離子化之空氣傳導至大地，或者 吸引離子化空氣中相反極性之電荷加以中和。 一般而言靜電消除器可由離子產生方式區分為交流式與直流式兩種。 直流式 交流式 InnoLux 環境預防 靜電消除器: 目前較常用的靜電消除器種類有加電壓式靜電消除器、自放電式 靜電消除器(金屬梳)、放射線式靜電消除器，下表為這三種靜電 消除器的特性及適用對象，其中加電壓式及自放電式靜電消除器 皆是利用電暈放電之方式產生離子化空氣。 InnoLux 環境預防 靜電消除器: 不同靜電消除器因應使用埸合之不同而有不同之使用條件， 目前廠內使用之桌上型或檯燈型之離子吹風機，主要須注意 使用距離須大於 30cm。 30cm 30cm * InnoLux ESD 防護及消除介紹 InnoLux 1.靜電的產生 2.常用靜電名詞的定義 3.生活中的靜電 4.工作上的靜電 5.靜電的防護與消除 課程概要 InnoLux 靜電的產生 靜電的歷史背景 靜電現象最早被記錄是在西元前6世紀,當時發現 絕緣物間互相磨擦後可以吸引微小物體,而進一步 的研究則始於十六世紀 靜電的產生 一般未帶電荷的物質原子中，帶負電的電子與帶正電的質子數量 相同。不過，電子可能因機械、熱、或化學等因素而離開原子， 造成正負離子的產生。 InnoLux 靜電的產生 靜電的產生 靜電的產生主要來自於兩種不同物質的接觸及分離，當兩種物質 接觸在一起時，電子會從一邊移動至另一邊，當兩物質分離時， 電子離開的一邊便帶正電，而接收電子的一邊帶負電。 + + + + + + + - - - - - - - 走路時其實就會產生靜電 InnoLux 磨擦帶電系列物質 根據物質磨擦後產生正負電所排成之順序稱為磨擦帶電系列 (Turboelectric Series)，下表所示為其中之一例，根據此表， 當兩種物質磨擦時，表中較上位者會帶正電，位在較下位者帶負電。 InnoLux 靜電的儲存 電荷可儲存於絕緣體或絕緣的導體上，當電荷 增加時電壓便會上昇 Q：電荷 (單位為庫倫) C：電容 (單位為法拉) V：電壓 (單位為伏特) C 為帶靜電物體之電容量, 電容量之大小依照物體 之大小與形狀決定 InnoLux 靜電的儲存 不同物體之電容值 不同設備之靜電電壓 InnoLux 產生靜電的情況 A.固體摩擦與剝