浅谈材料现代分析方法 透射电镜实验1.ppt

材料现代分析方法 透射电镜的结构和成像原理 材料科学与工程学院 2011-09 透射电子显微镜 (Transmission Electron Microscope，TEM) 材料现代分析方法 JEM 2100 分辨率： 点分辨率：0.23 nm 线分辨率：0.14 nm 低压电镜：小于120KV； 中压电镜：200-400KV； 高压电镜：高于400KV； 一.透射电镜结构 电子光学系统 ； 真空系统 10-5 Pa； 供电系统，高压稳定度； 材料现代分析方法 电子光学系统： 照明系统 (电子枪，会聚镜系统） 2. 样品室 3. 成像放大系统 4. 图像观察记录系统 材料现代分析方法 电子枪 聚光镜 样品室 物镜 中间镜 投影镜 荧光屏 照相室 图1 钨灯丝电子枪结构示意图 1——阴极； 2——栅极； 3——阳极；4——电子束交叉点 材料现代分析方法 图2 LaB6电子枪的结构原理图 电子枪 照明系统 LaB6 灯丝 材料现代分析方法 图3 典型的磁透镜剖面图 聚光镜 第一、二级聚光镜 第三级聚光镜 会聚小透镜 图4 不同类型的光阑 材料现代分析方法 照明系统 材料现代分析方法 图5 样品台及其双倾旋转方向 侧入式 样品室 成像放大系统 物镜 中间镜 投影镜 成 像 放 大 系 统 物镜： TEM的核心，采用球差小、短焦距、强磁透镜。 中间镜： 采用长焦距、弱磁透镜。主要通过中间镜来控制电镜的总放大倍率。 投影镜： 短焦距、强磁透镜。激磁电流固定，景深和焦长很大。将中间镜放大的像进一步放大，并投影到荧光屏上。 材料现代分析方法 图像观察与记录系统 荧光屏 双目镜 底片盒,照相系统 底片传送装置 控制暴光装置 图像观察记录系统 材料现代分析方法 真空系统： 真空系统一般由机械泵、油扩散泵、离子泵、阀门、真空测量仪等组成 真空度不够，就会出现以下问题： 高压加不上去； 成像衬度变差； 极间放电； 灯丝迅速氧化，寿命缩短。 材料现代分析方法 供电系统： 供给电子枪的高压部分； 供给电磁透镜的低压稳流部分 电压的稳定是透射电镜性能优异的重要保证 其他：程序控制、数据处理系统和水循环系统。 材料现代分析方法 二.透射电镜成像原理 图6 三透镜成像原理图 在透射电子显微镜中，物镜、中间镜、投影镜是以积木方式成像，形成三级成像。 总放大倍率： Mo ：50~100 ×； Mi ：0~20 ×； Mp ：100~150 ×； M3 ：1000~200000 ×。 材料现代分析方法 三种成像衬度： 质量厚度衬度； 衍射衬度； 相位衬度。 材料现代分析方法 * * * * * * * *