反磁悬浮微马达分析研究.pdfVIP

A Dissertation Submitted to Shanghai Jiao Tong University for the Degree of Philosophy Master Research of Related Technology of Diamagnetic Micromotor Author ：Dai Fuyan Major: Microelectronics and Solid State Electronics Advisor: Zhang Weiping Research Institute of Micro/Nano Science and Technology, Shanghai Jiao Tong University Shanghai, P.R.China January, 2010 反磁悬浮微马达研究 摘 要 基于 MEMS 技术的微陀螺具有体积小、重量轻、价格低、寿命长和易于批量生 产等诸多优点，有望部分取代传统陀螺。然而 目前普遍精度较低的现实制约了其在 高端领域的应用。由于工艺、检测电路等条件的限制，国内微陀螺的精度更是与国 外有较大的差距。同时，随着 MEMS 技术被广泛地应用于微机械陀螺之中，悬浮转 子微器件得到国内外的深入研究。悬浮转子微器件利用高速旋转转子的陀螺效益， 来实现对载体运动角速度的测量，并可同时实现线加速度的测量。载体的角速度和 线加速度通过陀螺的差分电容结构被转化为相应的电容变化，进而转化为相应的电 信号输出。检测陀螺角速度和线加速度被转化为检测相应的差动电容。 本文主要研究的反磁悬浮微马达，与大多数微惯性器件的检测质量块通过支撑 梁与衬底相连而存在的接触摩擦相比，由于其微器件中转子自由悬浮机制，可以不 受接触摩擦的影响，可用于高精度的微惯性器件。全文主要研究内容和结论如下： 对于反磁悬浮系统进行了基本力学分析，同时分析了反磁悬浮转子微器件的悬 浮和稳定的原理以及用作惯性传感器的原理。论述了反磁悬浮原理的器件结构，加 工工艺。最后分析了悬浮转子旋转驱动仿真和电路程序实验。具体为：（1）对反磁 悬浮微器件中转子的悬浮、稳定和旋转进行了力学分析。（2）使用ANSOFT 的MAXWELL 3D 有限元软件包分析了反磁转子悬浮微器件的悬浮问题，对于转子的悬浮、稳定和 旋转进行了系统的仿真分析，包括受力分析与位移分析。（3）对反磁悬浮微器件的 制作工艺进行了研究。包括定子、转子。定子由加工好的玻璃基底微结构单元和环 形永磁组合体装配而成。玻璃基片上微结构采用MEMS 工艺制作，环形永磁体和齿形 热解石墨转子采用精密加工工艺得到。（4）对悬浮转子旋转驱动测控电路进行了研 究。悬浮转子的旋转驱动是基于轴向变电容静电微电机原理。本文研究了变驱动力 矩控制，并且给出了旋转驱动Matlab仿真，对于驱动程序选择了两相开环驱动程序。 （5）对反磁悬浮器件进行了相关实验。 实验研究内容主要是反磁转子悬浮微马达的旋转测试实验，具体包括：（1）悬 I 浮实验：测量了转子的悬浮高度，通过悬浮稳定性实验验证了转子的悬浮稳定性；（2） 旋转驱动实验：测试了开环驱动作用下转子转速。 关键字：MEMS 、微马达、反磁、悬浮、微加工工艺 II Research of Related Technology of Diamagnetic Micromotor Abstract Based on MEMS technology, microgyroscopes have many advantages such as small size, light weight,