原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
英国GENCOA真科)Speedflo使用培训
Gencoa 工艺支持
黄汉乐
hugo@
GENCOA products cover 3 sputtering related areas
溅射阴极
平 旋转 圆形阴极
反应气体控制器
信号探测器
线性离子源
提供现场工艺调试，产品使用培训等售后服
务。
Reactive gas
process controllers
标准版Speedflo
Speedflo Mini
8通道
Speedflo的应用
Speedflo广泛应用于玻璃，太阳能，显示
器和OLED等溅射镀膜工艺领域。
气体反应控制器(Speedflo) 是一款灵活和高性能的仪器，运用可得到最好真空镀膜溅
射沉积和等离子工艺。这是以传感器和反馈信号的灵活性的控制系统。给真空镀膜工
艺带来快速，稳定，高产和高质产品。
根据顾客所得到的数据- 投资
成本回报
• 产线工艺镀膜速度加快3到5
倍。
• 30天之内得到投资回报
（反应控制）
反应溅射探测基本原理
信号采集
发射
靶材
反应气体输入 控制
(Speedflo)
基片
标准：透明程度，导电程度
体现：电压，频率，等离子密度
镀膜工艺信号输入和输出反应溅射控制
SpeedFlo - 输入传感信号
输出(气体流量计）
• PEM – 等离子光波发射探测
• 金属波长／多类光谱波长 反应气体流量直接控制
输入 靶材电压间接控制
• 多样气体光谱输入 反应气体特征跃迁光谱间接控制
• 氩气光谱输入 溅射靶材特征跃迁光谱间接控制
• 等离子光谱（等离子表 局部气体压力控制（氩气/节流闪
处理）
文档评论（0）