使冰水主机冷却能力大幅提升.ppt

提升冰機運轉效率 楊景超 力晶半導體 12AB廠務部 (空調技師) E-mail：ccyang@.tw (03)579500 ext.8636 06.30.2006 前 言 92/2/28力晶12A第一台製程設備搬入 93/10產能達 40,000 WOPM (0.13μm) 無塵室總面積 20,000m2 冰水消耗最高達 11,000RT (93年度) 電費最高達 3,700萬元 (93/08) 大 綱 I n d e x 冰水及冷卻水系統簡介 提升冰水主機效率原理 冷卻水溫與冰機耗電關係 節能執行成效 結論 力晶12吋廠-冰水系統簡介 提升冰水主機效率 原理： 冷媒不同冷凝溫度之簡單飽和循環之p-h圖 冰水主機耗電量與冷卻水溫度關係圖 92.11~93.10 冰水主機實際運轉效益 節能執行成效 結論(1/2) 結論(2/2) 未來目標 運用濕球溫度控制搭配外氣焓值監控，以最佳化運轉模式尋求冷卻水塔與冰水主機運轉耗電量之平衡點 今年與工研院合作，進行主機群組運轉最佳化模式建立 Powerchip Semiconductor Corp. 一次定流量 冰水泵浦 1280RT 冰水主機 二次變流量 冰水泵浦 末端壓差 控制冰水流量 力晶12吋廠-冷卻水系統簡介 選用13台冷卻水塔並聯運轉對應12台冰水主機 冷卻水塔及管路採用並聯運轉模式 以出水溫度控制冷卻水塔運轉頻率及台數 h p h1 h2 h3’ h3 輸出能量 h2-h1 效率= -------------- = ----------- 輸入能量 h3-h2 當冷凝溫度降低，壓縮機出口焓值由h3降低為 h3‘，輸入能量降低，效率提高 壓焓圖 作法： (1) 13台冷卻水塔搭配12台冰水主機 (2) 增加總冷卻水塔散熱能力，使冰水主機冷卻能力大幅提升 (3) 提高冷卻水塔於非夏季之運轉率 (4) 冷卻水出水溫度隨外氣變化控制於14~29℃ 1.300 1.200 1.100 1.000 0.900 0.800 0.700 0.600 0.500 0.400 KW/RT 0% 20% 40% 60% 80% 100% 操作溫度由原設計32℃調降為18~29℃，可節省5~20﹪耗電量 負載率% 單冷 PARTIAL LOAD CURVE 32℃ 24℃ 29℃ 18℃ 資料來源：Trane提供 於18℃時 KW/RT = 0.5 冰水主機耗電量與冷卻水溫度關係圖(實測值) 耗電量 KWH 溫度 ℃ 時間 冰機耗電量與冷卻水溫度成正相關 KW/RT與冷卻水溫度關係圖(實測值) KW/RT 溫度 ℃ 時間 冰機效率與冷卻水溫成正相關 於18℃時 KW/RT = 0.48 0.48 18 註一：資料來源 - 中央氣象局 (新竹地區 92.11~93.10) 註二：資料來源 - Trane 設計運轉效率Data (冷卻水回水溫度32 ℃，冰水出水溫度5 ℃ ) 16.13 0.62 0.52 4550 21.3 15.3 92-11 17.74 0.62 0.51 4112 20.6 14.4 92-12 8932 10955 10322 10136 8748 8267 6248 5310 4387 4233 平均冷都噸 (RT) 0.62 0.62 0.62 0.62 0.62 0.62 0.62 0.62 0.62 0.62 設計效率 (KW/RT) (註二) (b) 3.23 0.6 28.8 24.8 93-08 8.06 0.57 26.7 22.2 93-09 9.68 0.56 25 20.2 93-10 4.84 0.59 28.4 24.7 93-07 6.45 0.58 28.1 24.1 93-06 8.06 0.57 26.2 21.7 93-05 9.68 0.56 24.8 19.9 93-04 14.52 0.53 22.3 16.6 93-03 17.74 0.51 19.8 13.2 93-02 19.35 0.5 18.2 11.2 93-01 節省效益 (%) (b-a)/b 平均運轉效率 (KW/RT) (a) 平均運轉 冷卻水溫度(℃) 平均濕球 溫度(℃) (註一) 月份 冬季 夏季 建廠階段即加入節能理念進行規劃，並於運轉中逐項測試與改善，以目前12吋廠每月40000片產能估算，節能效益如下： 3,954 12,818 5,991,309 調降冷卻水回水溫度 噸CO2/年 仟元/年 度/年 運轉策略 成效 提升冰水主機效率： 增加冷卻水塔總散熱能力，並提高冷卻水塔於非夏季之運轉率，冷卻水出水溫度隨外氣變化控制於