同步辐射光源的真系统-SSRF系列技术讲座之一.ppt

同步辐射光源的真空系统－SSRF系列技术讲座之一 蒋迪奎 08－05－21 本次真空讲座的目标 听讲人的目的？ 听讲人情况：SSRF非真空专业人员，1h 演讲人的目标： 给你一个思路——怎样理解、把握、解决你的工作中所涉及的真空技术问题。 本次讲座内容 掌握真空系统基本概念的思路 把握某个装置特殊真空问题的思路——以储存环真空系统为例 其它参考资料 SSRF非真空专业人员解决真空问题的基本条件和方法 了解点常规真空技术的基本概念和知识，并有点实践和感性认识。（一点不懂不行） 适当了解本装置的总体设计，把握本装置真空问题的特殊性。（否则抓不住关键） 和真空厂商量特殊真空问题的解决方法，并实施。（合理利用真空厂力量） 真空系统的基本概念（1） 什么叫真空？ 一定范围空间内的气体压强低于大气压的状态（宇宙和生活中随处可见） 真空区域划分：低、高、超高、极高 这样划分的原因： ①根据气流特点（低、高、超高真空→踹流、 粘稠流、分子流）； ②不同区域功能不同，所用真空设备不同。 真空区域划分及对应真空泵 低真空：105～10－1 Pa →RP 中（高）真空：10－1～10－5 Pa →TMP 超高真空：10－5 ～10－9 Pa →TMP or SIP、SIP＋TSP＋NEG 极高真空：＜10－9 Pa →LHeCP+SIP 先弄清你的装置要达到的真空区域要求！ 真空系统的基本概念（2） 2. 常规真空技术的主题：真空容器－气源（气载）－抽气（抽速），即真空获得和测量。 真空容器：结构、材料、密封、制造、工艺→如何适应总体、漏气出气少、易加工、经济？ 气源：空间气体、漏气、渗气、材料表面出气（热解吸、电子离子光子感应解吸、室壁体内气体输运到表面）、人为充入的介质气体→如何减少气载、控制气体成分？ 抽气：泵（抽气原理和特性）～气体流导（抽气通道结构和气体分子运动学）→如何提高抽气能力和效率？ 真空系统的基本概念（3） 全压强测量和气体成份分析（分压强）→如何提高测量真实性、精度和一致性？ 真空系统控制→如何操作真空设备、真空数据采集和处理、真空联锁保护？ 真空系统的基本组成部分：真空室、泵、阀、规、电源和控制。 真空系统的其它常用部分：内部机构（复杂）、H2O/LN2/LHe冷却、电信号出入、介质气体引入、运动导入等。 SSRF真空系统的建造标准 真空系统已发展到全金属无油超高真空系统 SSRF建造所有真空系统追求的共同标准——全金属无油超高真空系统 全金属无油超高真空系统的概念：系统所有材料是金属（密封、规管、阀门的改进），真空容器内无油分子（无油泵或无油分子返流），压强达到超高真空。 实际系统有例外：如陶瓷真空室、油旋片泵、TMP、阀门氟橡胶密封圈、导线绝缘等。 真空室（1）－材料 根据总体要求盘点材料选择因数： 机械性能——强度、硬度、比重、熔点 真空性能——表面氧化层、出气率 导磁率 导热、导电性能 抗辐射性能、防辐射性能 机加性能 焊接性能 成本和采购途径 2. SS、Al合金、Cu合金比较： 真空室（2）－结构 形状/内部及外围设备装拆空间（设备总体决定） 大气压变形/壁厚/加强筋（ANSYS分析变形） 抽气流导（气载分布、流导、压强分布计算） 泵阀规/电极/冷却水/运动传导/观察窗/安装孔 真空室烘烤和冷却/热胀冷缩/支撑点（热负载温度分布计算、支撑点及自由度、关键部位位移） 安装程序/热胀冷缩/波纹管/松套法兰 支撑/位置调节/准直靶标 吊装点（避免变形、焊缝断裂、翻转） 尺寸精度（机加和焊接变形） 真空室（3）－加工 设计想着如何加工： 机床加工：车、刨、铣、磨、镗、钻（加工中心） 切割加工：激光切割、线切割 复杂板金成型：模具/油压机拉伸、模具数控折弯 焊接：氩弧焊、电子束焊、真空钎焊（焊接结构设计和焊接工装设计） 板金工：成型、校正变形 钳工：装配、焊接配合 表面处理和真空清洗：电抛光、超声波清洗 表面镀镆：真空镀镆、电镀 真空调试：捡漏、烘烤、除气、去磁、抽气、测量 减少气载的技术、工艺和材料 减少漏气 →焊接和真空密封 减少热解吸出气→电抛光/清洗/清洁/烘烤 减少粒子和室壁相互作用出气→粒子清洗 减少体内气体→高温除气 减少室壁渗气→材料 减少颗粒吸放气→减少空间和泵内灰尘 快速降低气载和便于捡漏→减少死空间、留有出气通道、不准双面焊接等 尽量避免暴露大气→干燥纯N2预注入 真空泵（1）－泵的性能特点 极限真空度（泵本身达到最低压强） 抽速曲线（压强～抽速） 抽气选择性（对各种气体抽除能力不同） 对混合气体的抽气行为（一种气体影响泵对另一种气体的抽除） 抽气容量抽速曲线（容量～抽速） 标称/有效抽速（有效抽速和泵及流导有关） 泵的返油（是否获得无油真空） 泵的震动（影响主体设备工作） 真空泵（